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本发明涉及一种在显微镜中自动调灯的方法，所述显微镜的照明光路中没有光束均化器，本发明还涉及为使用该方法而设置的显微镜。根据本发明，用检测器总体地测量显微镜物镜的光瞳平面后面或照明光路的光瞳平面后面的光照功率，并且相对于照明光路调节所述灯，使...
该专利属于卡尔蔡斯半导体制造技术股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡斯半导体制造技术股份公司授权不得商用。

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