共焦显微镜制造技术

一种共焦显微镜包括：光源部分；分光镜，将入射光分为透射光和反射光；物镜；工作台，放置试样；共轭光阑，与物镜的聚焦点共轭；第一探测器，检测透过共轭光阑的光；光源部分产生相干光。还包括一反光镜；透射光和反射光之一经物镜照射在试样上，而另一路光投向反射镜；经试样反射的光经物镜透射后至分光镜，与被反射镜反射的光在分光镜处会合，形成干涉图像，一起向共轭光阑出射，由第一探测器检测干涉条纹数。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种共焦显微镜，其可以测量试样的三维形貌。
技术介绍
在光学仪器行业中有一类叫做显微镜的仪器，它可以测量物体的长度和宽度，但是在科研、生产中常常遇到一些要求测量每一X、Y坐标上的高度值的情况，例如被加工表面的粗糙度情况等。这样，在1957年就出现了一种新的可以测量三维形貌的光学仪器-共焦显微镜，其专利见Minisky M的1961年授权的美国专利US3013467，其专利技术名称为Microscopy apparatus，相关文章见Minisky M1988年的Memoiron inventing the confocal scanningmicroscope scanning。一般的共焦显微镜的原理示于图1，从针孔照明光源1发出的光经显微物镜2照在被观察试样上，然后从试样反射的光经显微物镜2，再经分光镜7反射向光阑4，透过光阑4的光由探测器6检测。光源1发出的光线聚焦在物镜聚焦面3上(第一聚焦面)，当一试样正好位于物镜聚焦面3的位置时，试样聚焦点上的光照度最大，该反射光经物镜2后，被分光镜7反射向光阑4，且聚焦在光阑4处，即物镜聚焦面3与光阑4共轭，就导致与物镜聚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种共焦显微镜，它包括：光源部分；分光镜，所述光源发出的光经分光镜分为两部分，即透射光和反射光；物镜；工作台，用于放置被观察试样；共轭光阑，它与物镜的聚焦点共轭；探测器，用于检测透过共轭光阑的光；其特征在于， 所述光源部分产生相干点光源；该显微镜还包括一反光镜组成的参考光臂；透射光和反射光之一经物镜照射在工作台的试样上，而透射光和反射光中的另一个投向反射镜；经试样反射的光经物镜透射后至分光镜，与被反射镜反射的光在分光镜处会合，形成干涉 图像，一起向共轭光阑出射，以便被探测器检测。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邵宏伟，徐毅，高思田，叶孝佑，陈允昌，许捷，李晶，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]