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一种共焦显微镜包括：光源部分；分光镜，将入射光分为透射光和反射光；物镜；工作台，放置试样；共轭光阑，与物镜的聚焦点共轭；第一探测器，检测透过共轭光阑的光；光源部分产生相干光。还包括一反光镜；透射光和反射光之一经物镜照射在试样上，而另一路光投...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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