用于制造散射射线准直仪的方法和散射射线准直仪技术

本发明专利技术涉及一种用于制造散射辐射准直仪(2)的方法，该散射辐射准直仪(2)从下侧(4)开始沿构造方向(6)延伸到上侧(8)，散射辐射准直仪(2)具有吸收X射线的壁部(10)，并且在散射辐射准直仪(2)中在壁部(10)之间形成用于非散射X射线的贯通通道(12)，其中使用光刻工艺，借助于该光刻工艺由混合有X射线吸收材料的光刻胶形成散射辐射准直仪(2)的壁部(10)。

【技术实现步骤摘要】
用于制造散射射线准直仪的方法和散射射线准直仪
本专利技术涉及一种用于制造散射射线准直仪的方法，该散射射线准直仪从下侧开始沿构造方向延伸到上侧，该散射射线准直仪具有吸收X射线的多个壁部，并且在该散射射线准直仪中在壁部之间形成用于非散射X射线的通道。此外，本专利技术还涉及一种相应的散射射线准直仪以及一种具有相应散射射线准直仪的X射线设备。
技术介绍
为成像方法设计的X射线设备通常具有所谓的散射辐射准直仪，也称为散射辐射光栅，以便吸收不希望的散射X射线，使得不希望的散射X射线不会入射到X射线设备的X射线探测器上。在此，相应的散射辐射准直仪具有吸收X射线辐射的多个壁部，在壁部之间形成用于非散射X射线辐射的贯通通道。这种类型的散射辐射准直仪通常通过以下方式制造，即将具有适当凹口或开口的金属板彼此堆叠，然后将金属板彼此连接。
技术实现思路
由此出发，本专利技术所基于的目的在于，提出一种用于制造散射辐射准直仪的有利的方法、一种有利地构造的散射辐射准直仪和一种有利地构造的X射线设备。该目的通过根据本专利技术的方法、散射辐射准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造散射辐射准直仪(2)的方法，所述散射辐射准直仪(2)从下侧(4)开始沿构造方向(6)延伸到上侧(8)，所述散射辐射准直仪(2)具有吸收X射线的多个壁部(10)，并且在所述散射辐射准直仪(2)中在所述多个壁部(10)之间形成用于非散射X射线的多个贯通通道(12)，/n其中使用光刻工艺，借助于所述光刻工艺由混合有X射线吸收材料的光刻胶形成所述散射辐射准直仪(2)的所述多个壁部(10)。/n

【技术特征摘要】
20190619 DE 102019208888.01.一种用于制造散射辐射准直仪(2)的方法，所述散射辐射准直仪(2)从下侧(4)开始沿构造方向(6)延伸到上侧(8)，所述散射辐射准直仪(2)具有吸收X射线的多个壁部(10)，并且在所述散射辐射准直仪(2)中在所述多个壁部(10)之间形成用于非散射X射线的多个贯通通道(12)，
其中使用光刻工艺，借助于所述光刻工艺由混合有X射线吸收材料的光刻胶形成所述散射辐射准直仪(2)的所述多个壁部(10)。


2.根据权利要求1所述的方法，
其中在所述光刻工艺的过程中将由所述光刻胶制成的一个涂层(14)曝光，并且其中在所述曝光之后以溶剂、特别是γ-丁氧基丙酮冲洗或冲刷所述涂层以形成多个贯通通道(12)。


3.根据权利要求2所述的方法，
其中由所述光刻胶制成的一个涂层(14)的厚度(d)的值在200μm至800μm的范围内，并且特别是在400μm至600μm的范围内。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，
其中所述光刻胶具有作为基础树脂的环氧树脂。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，
其中将金属、特别是钨作为X射线吸收材料混合到所述光刻胶中。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，
其中将呈球珠形式的X射线吸收材料混合到所述光刻胶中。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，
其中在所述光刻胶中混合X射线吸收材料，使得所述X射线吸收材料的体积分数占至少30％，并且特别是占至少40％。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，
其中使用一个衬底(20)，特别是一个硅晶片。


9.根据权利要求8所述的方法，
其中通过多次重复所述光刻工艺在所述衬底(20)上沿构造方向(6)逐层地构造所述散射辐射准直仪(2)或所述散射辐射准直仪(2)的一个模块。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·厄格勒，S·维尔特，V·克里斯蒂奇，M·M·科勒斯恩格雷，
申请(专利权)人：西门子医疗有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE