长程面形仪制造技术

一种长程面形仪，它主要由半导体激光器、光纤、位相板、反射镜、分光镜、五角棱镜、反射镜、傅立叶透镜、面阵ＣＣＤ和参考反射镜组成，半导体激光器发出的激光束经光纤准直投射至一块位相板上，其衍射光束由反射镜折转形成基准光束被分光镜分为两路：一路经五角棱镜折转９０°投射至被测表面，被反射回来的探测光束再经五角棱镜、分光镜、反射镜投射至傅立叶变换透镜，从而在位于ＦＴ透镜后焦面的面阵ＣＣＤ上形成测量光斑，另一路基准光束经由参考反射镜、反射镜直接射至傅立叶透镜，并在面阵ＣＣＤ上形成参考光斑。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术与大尺寸高精度面形测量有关，特别是一种用于表面轮廓的高精度光学检测的长程面形仪。八十年代初发展起来的用于非球面测量的光笔干涉仪以其独特的优点成为同步射线掠入射反射镜轮廓测量的首选方案。光笔干涉仪最初于1982年由Bieron提出，其原理如附图说明图1所示由激光器发出的光束经分光镜BS1和平面镜M1后生成两束光束，再经分光镜BS2和五角棱镜PP入射到待测光学表面SUT上。从被测表面反射回来的光束，按原光路经PP和BS2入射至傅立叶变换透镜FT，并在FT焦平面上发生干涉。此干涉图样经显微目镜MO放大后由读出装置RO获取，从而得到测点轮廓信息。图2给出了光笔干涉仪中条纹移动与SUT角度误差的关系设SUT被测区域相对于光轴垂直面有一角度偏差α，则被SUT反射回来的探测光束对相对于光轴垂直面有2α的角度偏差。FT透镜通过将光束对成像于探测器上而起到角度一位置变换作用。对一焦距为f的理想FT透镜，此时，焦面上的条纹位于偏离主焦点d处，位移d与反射光角度偏差2α满足如下关系d＝2αf因此通过测量位移量d的大小，即可推得SUT被测区域斜率或斜率变化。相对于其它表面形貌测量方法—以泰曼本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种长程面形仪，其特征在于它采用了一种基于衍射准直的ｆ－θ系统，主要由半导体激光器（１）、光纤（２）、位相板（３）、反射镜（ＲＰ↓［１］）、分光镜（ＢＳ）、五角棱镜（ＰＰ）、反射镜（ＲＰ↓［２］）、傅立叶透镜（ＦＴ）、面阵ＣＣＤ和参考反射镜（ＲＰ）组成，其光束的运动过程是：半导体激光器（１）发出的激光束经光纤（２）准直投射至一块位相板（３）上，其衍射光束由反射镜（ＲＰ↓［１］）折转形成基准光束被分光镜（ＢＳ）分为两路：一路经五角棱镜（ＰＰ）折转９０°投射至被测表面，被反射回来的探测光束再经五角棱镜（ＰＰ）、分光镜（ＢＳ）、反射镜（ＲＰ↓［２］）投射至傅立叶变换透镜（ＦＴ），从而在位于ＦＴ透镜后...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖体乔，夏绍建，余笑寒，
申请(专利权)人：中国科学院上海原子核研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]