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一种长程面形仪，它主要由半导体激光器、光纤、位相板、反射镜、分光镜、五角棱镜、反射镜、傅立叶透镜、面阵ＣＣＤ和参考反射镜组成，半导体激光器发出的激光束经光纤准直投射至一块位相板上，其衍射光束由反射镜折转形成基准光束被分光镜分为两路：一路经五...
该专利属于中国科学院上海原子核研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海原子核研究所授权不得商用。

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