测量装置和测量方法制造方法及图纸

一种测量装置300，包括：激光装置110，输出调频激光束；分支部件120，将调频激光束分支为参考光和测量光；差拍信号生成部件150，通过混合参考光和将测量光照射到待测对象10上而反射的反射光来生成差拍信号；提取部件170，提取与所述调频激光束的谐振频率相对应的信号分量；时钟信号生成部件310，基于所述信号分量生成第一时钟信号；转换部件320，使用所述第一时钟信号将所述差拍信号转换为第一数字信号；以及计算部件180，基于所述第一数字信号计算所述参考光和所述测量光之间的传播距离的差。

【技术实现步骤摘要】
测量装置和测量方法
本专利技术涉及一种测量装置和一种测量方法。
技术介绍
已知一种在谐振器中设有频移器、并且输出多个其振荡频率随时间线性变化的纵模(longitudinal-mode)激光的频移反馈激光器(frequency-shiftedfeedbacklaser，FSFL)。此外，已知一种使用这种FSFL的光学测距仪(例如，参见专利文献1:日本专利第3583906号的说明书，以及非专利文献1:“DistanceSensingbyFSFLaserandItsApplication”，TakefumiHARA，Optonews，第7卷，第3期，2012年，第25-31页)。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题使用频移反馈激光器(FSFL)的光学测距仪可以以非接触方式获取大量的三维信息，并且已经被用于例如设计和生产场所。FSFL有时会导致光学测距仪的测量准确度降低，因为谐振器的长度可能会因温度等环境波动而变化。为了防止测量准确度的降低，通常，已经考虑通过将FSFL安装在恒温室中来减少环境波动，通过监测FSFL的输出来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量装置，包括：/n激光装置，具有激光谐振器并输出具有多种模式的调频激光束；/n分支部件，将所述调频激光束分支为(i)由所述激光装置输出的所述调频激光束的一部分，作为参考光，以及(ii)所述调频激光束的其余部分的至少一些，作为测量光；/n差拍信号生成部件，通过混合所述参考光和通过将所述测量光照射到待测对象上而反射的反射光来生成差拍信号；/n提取部件，提取与所述激光谐振器的谐振频率相对应的、并且叠加在从所述激光装置输出的调频激光束上的信号分量；/n时钟信号生成部件，基于所述信号分量生成第一时钟信号；/n转换部件，使用所述第一时钟信号将所述差拍信号转换为第一数字信号；以及/n计算部件，基于...

【技术特征摘要】
20190603 JP 2019-1037681.一种测量装置，包括：
激光装置，具有激光谐振器并输出具有多种模式的调频激光束；
分支部件，将所述调频激光束分支为(i)由所述激光装置输出的所述调频激光束的一部分，作为参考光，以及(ii)所述调频激光束的其余部分的至少一些，作为测量光；
差拍信号生成部件，通过混合所述参考光和通过将所述测量光照射到待测对象上而反射的反射光来生成差拍信号；
提取部件，提取与所述激光谐振器的谐振频率相对应的、并且叠加在从所述激光装置输出的调频激光束上的信号分量；
时钟信号生成部件，基于所述信号分量生成第一时钟信号；
转换部件，使用所述第一时钟信号将所述差拍信号转换为第一数字信号；以及
计算部件，基于所述第一数字信号计算所述参考光和所述测量光之间的传播距离的差。


2.根据权利要求1所述的测量装置，其中所述分支部件将所述调频激光束分支为所述参考光、所述测量光和监测光，并且
所述提取部件包括将所述监测光转换为电信号的光电转换部件，并从由所述光电转换部件转换的所述电信号内提取与所述激光谐振器的谐振频率相对应的信号分量。


3.根据权利要求2所述的测量装置，其中所述提取部件还包括滤波器部件，所述滤波器部件使得来自由所述光电转换部件转换的电信号内的、具有所述激光谐振器的谐振频率的信号分量通过。


4.根据权利要求1所述的测量装置，其中所述时钟信号生成部件包括PLL电路，所述PLL电路使用所述信号分量的频率作为参考频率并输出频率为所述参考频率的倍数的频率信号，并且
所述时钟信号生成部件输出所述频率信号作为所述第一时钟信...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松崎晋路，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP