一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统技术方案

本发明专利技术涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路与第二气体支路，所述第一气体支路的内部包含有第一气体浮子流量计、第一气体质量流量计与第一气动波纹阀，所述第二气体支路的内部包含有第二气体浮子流量计、第二气体质量流量计与第二气动波纹阀，所述第一气动波纹阀的底部固定连接有气体汇流排，可以不用依靠与气体浮子流量计的对比，来判断气体质量流量计准确度，还可以在CVD设备未生产的任何时间，对所有的气体质量流量计主动进行流量校准，可主动排查是否有质量流量计的流量有偏差，方便及时，减少生产浪费和产品的故障率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统
本专利技术涉及金属切削刀具和工模具涂层
，具体为一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统。
技术介绍
CVD是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现，经过涂层的切削刀具、工模具的使用寿命会大大提高，经过涂层的零部件更加耐腐蚀和耐磨损。现有的技术，一般通过与气体管路中的气体浮子流量计的流量计比较，大致得出质量流量计的流量是否准确，与通过涂层设备涂出来的产品质量是否合格来反推气体质量流量计流量是否准确，但是这些技术中也是存在缺陷的，气体浮子流量计的精度本身就不高，通过与气体浮子流量计的对比，无法准确判断气体质量流量计的流量是否准确，过涂层设备涂出来的产品质量是否合格来反推气体质量流量计流量是否本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路(1)与第二气体支路(2)，其特征在于：所述第一气体支路(1)的内部包含有第一气体浮子流量计(3)、第一气体质量流量计(4)与第一气动波纹阀(5)，所述第二气体支路(2)的内部包含有第二气体浮子流量计(6)、第二气体质量流量计(7)与第二气动波纹阀(8)，所述第一气动波纹阀(5)的底部固定连接有气体汇流排(9)，所述气体汇流排(9)的右侧端固定安装有汇流排出口气动波纹阀(10)，所述汇流排出口气动波纹阀(10)的右侧端固定安装有手阀(11)，所述手阀(11)的右侧端固定安装有测试罐(12)，所述测试罐(12)的右侧端固定安装有...

【技术特征摘要】
1.一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路(1)与第二气体支路(2)，其特征在于：所述第一气体支路(1)的内部包含有第一气体浮子流量计(3)、第一气体质量流量计(4)与第一气动波纹阀(5)，所述第二气体支路(2)的内部包含有第二气体浮子流量计(6)、第二气体质量流量计(7)与第二气动波纹阀(8)，所述第一气动波纹阀(5)的底部固定连接有气体汇流排(9)，所述气体汇流排(9)的右侧端固定安装有汇流排出口气动波纹阀(10)，所述汇流排出口气动波纹阀(10)的右侧端固定安装有手阀(11)，所述手阀(11)的右侧端固定安装有测试罐(12)，所述测试罐(12)的右侧端固定安装有测试罐出口气动波纹阀(15)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彤，
申请(专利权)人：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32