有抗反射膜的塑料光学器件和使抗反射膜厚度均一的机构制造技术

在其塑料底料（１０）的表面上涂有抗反射膜（１０）的塑料光学器件中，此抗反射膜是多层膜，由先在此底料（１０）的一侧淀积高折射材料的第一层（１３１）继以低折射材料的第二层再交迭地叠层以这些高、低折射材料而成。光学透镜底料（１０）的表面有曲率，有多个这样的底料（１０）水平地设置于可沿水平方向转动的圆盘支座（２６）上。所用溅射膜淀积系统包括面对底料（１０）表面的靶（３１）。沿连接支座（２６）的周边部与中央部的方向并在靶（３１）与支座（２６）之间设有起到掩模件作用的膜厚校正板以调节膜厚差。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用溅射(喷镀)法将薄膜性能评价高的防反射膜(增透膜)淀积于塑料光学器件表面上的技术，涉及在此塑料光学器件用作塑料光学镜片时用来防止上述抗反射膜出现裂纹的技术，还涉及使溅射法沉积的薄膜厚度均一化的技术。从轻量和抗震性优越方面考虑，塑料近来常用作镜片材料。在这种塑料镜片的两面则涂有抗反射膜。抗反射膜的设置是用于防止塑料镜片上的表面反射，因为这种表面反射产生时会降低光学系统的光透射率、使增加的光量无助于成像同时会减少图像的反差。这种塑料镜片的抗反射膜通常是由真空蒸镀法形成为单层膜或多层膜。当前已提出了用溅射法(Sputtering method)由简单的装置于光学透镜如塑料镜片上来形成抗反射膜的高产方法与系统。这种溅射膜的淀积系统配备有溅射膜淀积室，允许通过更换此室中真空容器内的靶来制备不同的薄膜。此溅射系统可在不将塑料镜片暴露于大气的条件下于此镜片表面上淀积多层抗反射膜，且允许同时在此镜片的两侧淀积上上述薄膜。这种溅射膜淀积系统的优点之一是，它能在镜片的两侧上形成均质膜，这是因为它能在镜片的两侧同时成膜而且在两侧上成膜的条件相同。此外，当于镜片的表面上淀积多层膜且这种本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有抗反射膜的塑料镜片，其中此抗反射膜（１３）是用溅射法涂于此镜片的塑料底料（１０）之上，特征在于，所述抗反射膜（１３）是这样形成的多层膜：于所述塑料底料的一侧淀积高折射材料的第一层（１３１），继以低折射材料的第二层（１３２），再交迭地叠加这些高折射材料与低折射材料； 同时将ＳｉＯ↓［（２－ｘ）］的超薄膜作为预处理层淀积于此塑料底料上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：葭原雅章，嘉村齐，神谷肇，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]