【技术实现步骤摘要】
一种高通量植入式柔性神经电极的制备方法及其结构
本专利技术涉及神经电极制备领域，尤其涉及一种高通量植入式柔性神经电极的制备方法及其结构。
技术介绍
在人类大脑和动物大脑中，对外界信息的感知及相关运动控制均是由不同的神经元集合协调操控的，这些神经元在不同脑区的位置分布对神经信号的采集解码具有一定限制，并且对同时记录大量具有高度时空保真度的单神经元信号和对信号采集设备的性能都提出了更高的要求。在实验神经科学领域，采用光学方法或者电学方法记录大量神经元在取得重大进展的同时也分别彰显各自的优缺点。在光学记录方法中，可以使用荧光蛋白造影剂同时记录10000多个活体神经元，如基于编码的钙离子蛋白或者压敏蛋白，但是在临床使用中，荧光蛋白信号穿透深度低、表达方式存在潜在的安全性问题。在电学记录方法中，主要使用基于脑机接口技术的脑电极作为记录工具，其中，犹他电极的临床应用极为广泛，可以在不同大脑区域记录更多的神经元信号，但是犹他电极的电极密度低，通常在一块4×4mm2的硅基底上只可以制备100通道的电极，如此使得犹他电极难以扩展到更高
【技术保护点】
1.一种高通量植入式柔性神经电极的制备方法，其特征在于，包括：/n制备衬底；所述衬底具有释放面；/n在所述衬底的所述释放面上制备多个电极区组；所述多个电极区组中每个电极区组含有第一电极区、第二电极区和第三电极区，所述第一电极区、所述第二电极区和所述第三电极区中每个电极区含有第一预设数量的电极，所述每个电极区间隔分布使得所述衬底被划分为多个待制备区域；/n在所述多个待制备区域上制备第一绝缘层；所述第一绝缘层的厚度大于所述每个电极区的厚度厚；/n在所述电极区组的第一电极区上制备第一金属布线层，以及在所述第一金属布线层上制备第二绝缘层；所述第二绝缘层的面积大于所述第一金属布线层的...
【技术特征摘要】
1.一种高通量植入式柔性神经电极的制备方法，其特征在于，包括：
制备衬底；所述衬底具有释放面；
在所述衬底的所述释放面上制备多个电极区组；所述多个电极区组中每个电极区组含有第一电极区、第二电极区和第三电极区，所述第一电极区、所述第二电极区和所述第三电极区中每个电极区含有第一预设数量的电极，所述每个电极区间隔分布使得所述衬底被划分为多个待制备区域；
在所述多个待制备区域上制备第一绝缘层；所述第一绝缘层的厚度大于所述每个电极区的厚度厚；
在所述电极区组的第一电极区上制备第一金属布线层，以及在所述第一金属布线层上制备第二绝缘层；所述第二绝缘层的面积大于所述第一金属布线层的面积；
在所述电极区组的第二电极区上制备第二金属布线层，以及在所述第二绝缘层和所述第二金属布线层上制备第三绝缘层；所述第二金属布线层的厚度大于所述第一金属布线层的厚度；
在所述电极区组的第三电极区上制备第三金属布线层，以及在所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和所述第三金属布线层上制备第四绝缘层；所述第三金属布线层的厚度大于所述第二金属布线层的厚度；
沿所述释放面剥离所述衬底，得到单一神经电极单元；
将第二预设数量的单一神经电极单元与电路板连接，得到所述高通量植入式柔性神经电极。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述在所述电极区组的第一电极区上制备第一金属布线层，包括：
利用步进光刻机对所述电极区组的第一电极区进行光刻，且利用金属蒸镀和剥离工艺在所述第一电极区的上表面制备出所述第一金属布线层；所述第一金属布线层的布线宽度在第一预设范围内。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述在所述电极区组的第二电极区上制备第二金属布线层，包括：
利用步进光刻机对所述电极区组的第二电极区进行光刻，且利用金属蒸镀和剥离工艺在所述第二电极区的上表面制备出所述第二金属布线层；所述第二金属布线层的布线宽度在第一预设范围内。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述在所述电极区组的第三电极区上制备第三金属布线层，包括：
利用步进光刻机对所述电极区组的第三电极区进行光刻，且利用金属蒸镀和剥离工艺在所述第三电极区的上表面制备出所述第三金属布线层；所述第三金属布线层的布线宽度在第一预设范围内。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述单一神经电极单元的通道数为2160；
所述高通量植入式柔性神经电极的通道数为10800。
6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶虎，杨会然，周志涛，魏晓玲，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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