一种电子轰击式六硼化镧阴极制造技术

本发明专利技术公开了一种电子轰击式六硼化镧阴极，包括含有阴极发射体和热子丝的六硼化镧阴极本体；所述发射体包括至少两个六硼化镧阴极发射体单元，所述阴极发射体单元依次拼接连接并固定在发射体托盘上，形成完整的阴极发射体，发射体托盘为金属钼材质。所述热子丝设置于发射体托盘下层，在平行于发射体托盘的平面内呈往复弯折状排布，热子丝两端点各连接一个引出电极，热子丝的排布形成一个大面积电子轰击源，热子丝的弯折点连线为一个圆；热子丝采用钨丝或钨铼丝材质。本发明专利技术巧妙的对热子丝的形状、热子丝的固定方式进行设计，通过电子轰击式的加热方式，使热子与发射体实现良好的热传递，解决了六硼化镧阴极发射体难以直接加热的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种电子轰击式六硼化镧阴极
本专利技术涉及大型动态真空电子设备领域，具体涉及一种电子轰击式六硼化镧阴极的结构。
技术介绍
六硼化镧阴极广泛应用于电子分析、离子注入、离子镀膜、材料处理、核物理科学和技术研究等设备中。在军事上，阴极是各类真空微波电子器件、真空微光夜视器件、真空红外成像器件和真空紫外成像器件的心脏。同时，在工业和医疗等设备中，利用阴极作为发射源的X光管、像增强器、加速管和显示器起到了非常重要的作用。在科学研究中，各类分析仪器、电子束加工、电子束曝光、电子束蒸发等设备中，阴极也是不可或缺的关键部件。六硼化镧阴极具有发射电流密度大、抗中毒和耐离子轰击能力强、材料蒸发率小、寿命长等诸多优点，在现有的各种阴极中，六硼化镧阴极是一种理想的电子源，特别适用于大发射电流工作条件的大型设备中。六硼化镧阴极在大型加速器、核物理科学和技术研究、电子束加热、电子束熔炼、电子束镀膜等具有广泛的用途。长期以来，人们在用于小发射电流的六硼化镧阴极的研发做了大量的研发工作，并获得了成功应用，取得了很好的结果。但是，在需要达到数十、数百或数千安培的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子轰击式六硼化镧阴极，包括含有阴极发射体(1)和热子丝(4)的六硼化镧阴极本体，其特征在于，/n所述发射体(1)包括至少两个六硼化镧阴极发射体单元(3)，所述阴极发射体单元(15)依次拼接连接并固定在发射体托盘(2)上，形成完整的阴极发射体(1)；/n所述热子丝(4)设置于发射体托盘(2)下层，在平行于发射体托盘(2)的平面内呈往复弯折状排布，热子丝(4)两端点各连接一个引出电极(17)。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子轰击式六硼化镧阴极，包括含有阴极发射体(1)和热子丝(4)的六硼化镧阴极本体，其特征在于，
所述发射体(1)包括至少两个六硼化镧阴极发射体单元(3)，所述阴极发射体单元(15)依次拼接连接并固定在发射体托盘(2)上，形成完整的阴极发射体(1)；
所述热子丝(4)设置于发射体托盘(2)下层，在平行于发射体托盘(2)的平面内呈往复弯折状排布，热子丝(4)两端点各连接一个引出电极(17)。


2.根据权利要求1所述的一种电子轰击式六硼化镧阴极，其特征在于，所述阴极发射体单元(3)为等宽条状结构，发射体托盘(2)表面开设有与阴极发射体单元(3)装配部相适配的燕尾槽，燕尾槽轴线间互相平行，相邻燕尾槽的轴线之间的距离为阴极发射体单元(3)的宽度，阴极发射体单元(3)通过装配部固定在发射体托盘(2)的燕尾槽上，各阴极发射体单元(3)依次拼接形成完整的阴极发射体(1)。


3.根据权利要求1所述的一种电子轰击式六硼化镧阴极，其特征在于，所述发射体托盘(2)上表面涂覆有隔离层。


4.根据权利要求1所述的一种电子轰击式六硼化镧阴极，其特征在于，在所述热子丝(4)上选择若干支撑点(21)，支撑点(21)下方设置有支架(5)，通过固定片(22)将热子丝(4)固定在支架(5)上。


5.根据权利要求1所述的一种电子轰击式六硼化镧阴极，其特征在于，所述支架(5)通过凸部卡紧在瓷盘(7)上，支架卡环(6)设置于支架(5)底部，进一步对支架(5)进行轴向限位。


6.根据权利要求1所述的一种电子轰击式六硼化镧阴极，其特征在于，所述瓷盘(7)放置在瓷盘托盘(9)的限位部...

【专利技术属性】
技术研发人员：林祖伦，于海波，
申请(专利权)人：成都创元电子有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51