一种间热式六硼化镧阴极制造技术

本发明专利技术公开了一种间热式六硼化镧阴极，包括至少两个六硼化镧阴极发射体单元，所述阴极发射体单元依次拼接连接并固定在发射体托盘上，发射体托盘为金属钼材质。所述阴极发射体单元为等宽条状结构，发射体托盘表面开设有与阴极发射体单元装配部相适配的燕尾槽，相邻燕尾槽的轴线之间的距离为阴极发射体单元的宽度，阴极发射体单元通过装配部固定在发射体托盘的燕尾槽上，各阴极发射体单元依次拼接。所述六硼化镧阴极还包括设置于发射体托盘下层的热子盘，所述热子盘表面有至少两个U型通孔，所述U型通孔由盘心至外围套叠排布，U型通孔的周长依次递增，相邻两个U型通孔的开口位置方向相反，U型通孔之间的间隙从盘心由内至外辐射曲折延伸。

【技术实现步骤摘要】
一种间热式六硼化镧阴极
本专利技术涉及大型动态真空电子设备领域，具体涉及一种间热式六硼化镧阴极的结构。
技术介绍
六硼化镧阴极广泛应用于电子分析、离子注入、离子镀膜、材料处理、核物理科学和技术研究等设备中。在军事上，阴极是各类真空微波电子器件、真空微光夜视器件、真空红外成像器件和真空紫外成像器件的心脏。同时，在工业和医疗等设备中，利用阴极作为发射源的X光管、像增强器、加速管和显示器起到了非常重要的作用。在科学研究中，各类分析仪器、电子束加工、电子束曝光、电子束蒸发等设备中，阴极也是不可或缺的关键部件。六硼化镧阴极具有发射电流密度大、抗中毒和耐离子轰击能力强、材料蒸发率小、寿命长等诸多优点，在现有的各种阴极中，六硼化镧阴极是一种理想的电子源，特别适用于大发射电流工作条件的大型设备中。六硼化镧阴极在大型加速器、核物理科学和技术研究、电子束加热、电子束熔炼、电子束镀膜等具有广泛的用途。长期以来，人们在用于小发射电流的六硼化镧阴极的研发做了大量的研发工作，并获得了成功应用，取得了很好的结果。但是，在需要达到数十、数百或数千安培的强流大发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种间热式六硼化镧阴极，包括含有阴极发射体(1)和热子盘(3)的六硼化镧阴极本体，其特征在于，/n所述发射体(1)包括至少两个六硼化镧阴极发射体单元(15)，所述阴极发射体单元(15)依次拼接连接并固定在发射体托盘(2)上，形成完整的阴极发射体(1)；/n所述热子盘(3)设置于发射体托盘(2)下层，所述热子盘(3)表面有至少两个U型通孔(16)，所述U型通孔(16)由盘心至外围套叠排布，U型通孔(16)的周长依次递增，相邻两个U型通孔(16)的开口位置方向相反，U型通孔(16)之间的间隙从盘心由内至外辐射曲折延伸。/n

【技术特征摘要】
1.一种间热式六硼化镧阴极，包括含有阴极发射体(1)和热子盘(3)的六硼化镧阴极本体，其特征在于，
所述发射体(1)包括至少两个六硼化镧阴极发射体单元(15)，所述阴极发射体单元(15)依次拼接连接并固定在发射体托盘(2)上，形成完整的阴极发射体(1)；
所述热子盘(3)设置于发射体托盘(2)下层，所述热子盘(3)表面有至少两个U型通孔(16)，所述U型通孔(16)由盘心至外围套叠排布，U型通孔(16)的周长依次递增，相邻两个U型通孔(16)的开口位置方向相反，U型通孔(16)之间的间隙从盘心由内至外辐射曲折延伸。


2.根据权利要求1所述的一种间热式六硼化镧阴极，其特征在于，所述阴极发射体单元(15)为等宽条状结构，发射体托盘(2)表面开设有与阴极发射体单元(15)装配部相适配的燕尾槽，燕尾槽轴线间互相平行，相邻燕尾槽的轴线之间的距离为阴极发射体单元(15)的宽度，阴极发射体单元(15)通过装配部固定在发射体托盘(2)的燕尾槽上，各阴极发射体单元(15)依次拼接形成完整的阴极发射体(1)。


3.根据权利要求1所述的一种间热式六硼化镧阴极，其特征在于，所述发射体托盘(2)表面涂覆有隔离层。


4.根据权利要求1所述的一种间热式六硼化镧阴极，其特征在于，所述热子盘(3)上的每两段相邻U型通孔(16)之间设有多个工艺通孔(17)。


5.根据权利要求1所述的一种间热式六硼化镧阴极，其特征在于，所述U型通孔(16)为优弧型通孔，优弧型通孔为多个同心圆弧，弧长由内至外依次递增，相邻优弧型通孔的端部朝向位置相反，形成一个扇形排布区。


6.根据权利要求1所述的一种间热式六硼化镧阴极，其特征在于，所述热子盘(3)盘心向下延展部内设有螺纹通孔，与热子非公共端(14)顶端螺杆相配合，热子盘(3)与热子非公共端(14)组成完整的热子。


7.根据权利要求6所述的一种间热式六硼化镧...

【专利技术属性】
技术研发人员：林祖伦，于海波，
申请(专利权)人：成都创元电子有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51