集成透明衬底及衍射光学组件制造技术

示出了在衬底上形成的衍射光学组件（ＤＯＥ）。一个实施例中所述ＤＯＥ的特征在于：在所述衬底的顶表面每个都单独产生多个元件。所述元件可以通过将多晶硅材料沉积在所述衬底或者通过在所述衬底形成硅晶体并进行蚀刻步骤而形成。可以使用所述ＤＯＥ反射在所述衬底中以全内反射的方式行进的入射光。可以将形成所述ＤＯＥ的所述条带的所述宽度、两者之间间隔和所述条带的高度设计得便于在所述衬底中以和所述入射光成锐角的传播方向反射所述入射光。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般来说涉及集成光学电路，尤其涉及基于安装在透明光学衬底的基于衍射光学组件的集成光学电路。
技术介绍
已经提出，通过在透明衬底上安装反射平面光学组件，并通过来自透明衬底的镜表面的内部反射耦合所述组件，能够构造集成光学电路。所述平面光学组件能够以所希望的方式直射、聚焦或者相反衍射入射光学信号。此方法允许以类似于电子集成电路的平面方式构造并互连复杂的光学装置。由于固有的反射损失和构造有效耦合内部光学信号的平面组件的困难，此方法的成功应用受到了限制。通常通过将金属薄膜应用于透明衬底来构造所述衬底的镜表面，但是已知薄膜材料具有几个百分点的损失，而且如果多个反射必要时，所述信号的强度按指数规律损失。而且，如果平面光学组件和所述衬底表面没有紧密接触，则伴随光学信号在所述衬底的进出，存在大量的损失。衍射光学组件(DOE)由于能够和所述表面集成，理想地适合于反射平面光学组件，但是，它们也有若干缺点。比较典型地是它们要求金属涂层以便以反射方式运行，而这将会导致光学信号的损失。如果在所述DOE中的衍射物体的大小远大于在所述衬底中的光束长，则它们将所述光衍射为不是想要模式的模态(mode)，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成光学装置，包括：光学衬底，其中入射光信号以全内反射的方式以从所述衬底顶表面初始反射的传播方向在所述衬底里面传播；以及衍射光学组件，具有多个由光学透明材料组成并放置在所述衬底的表面之上的被分隔隔离元件组成，以使沿着希望的传播方向在所述衬底反射入射光信号。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗杰L弗里克，查尔斯R威尔科克斯，
申请(专利权)人：柔斯芒特公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]