一种真空测量系统及装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空测量系统及装置，属于真空测量技术领域，系统包括基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元；真空度感知单元包括基准电压模块、至少两个并联的闭合回路；基准电压模块为闭合回路提供基准电压，每个闭合回路上设有若干电阻；控制单元通过获取任意两个闭合回路中电阻上的压降数据进而实现真空度的测量。本实用新型专利技术通过基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元替代传统的测量丝状结构，能够有效避免现有真空计在使用过程中出现的断丝问题延长了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种真空测量系统及装置
本技术涉及真空测量
，尤其涉及一种真空测量系统及装置。
技术介绍
目前的真空度的测量大多采用皮拉尼原理铂金丝测量方式，具体原理为：真空度不同则单位体积内的空气分子数就不同，那么带走正在发热的电阻丝的热量的能力就不同，电阻丝温度进而变化，由于电阻率是温度的函数，则不同的真空度就会引起电阻变化，进而导致电阻丝上的压降变化，根据压降变化即能换算出空气压强即真空度。现有的真空计是通过在金属圆通内设置一白金细线，白金细线两端连接电极，通过给白金细线提供电流时，白金细线会发热，气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固定热传导等方式，白金细线的热量会被夺走，进而计算出当前的真空度，然而此种测量方式中的白金细线容易断丝损坏，大大缩短了其使用寿命。其次，现有真空计工作过程中极易受到温度的影响，准确度大大降低。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中真空计容易断丝损坏的问题，提供一种真空测量系统及装置。本技术提供了一种真空测量系统，所述系统包括基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元；所述真空度感知单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空测量系统，其特征在于：所述系统包括基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元；/n所述真空度感知单元包括基准电压模块、至少两个并联的闭合回路；所述基准电压模块为闭合回路提供基准电压，每个闭合回路上设有若干电阻；/n控制单元通过获取任意两个闭合回路中电阻上的压降数据进而实现真空度的测量。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空测量系统，其特征在于：所述系统包括基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元；
所述真空度感知单元包括基准电压模块、至少两个并联的闭合回路；所述基准电压模块为闭合回路提供基准电压，每个闭合回路上设有若干电阻；
控制单元通过获取任意两个闭合回路中电阻上的压降数据进而实现真空度的测量。


2.根据权利要求1所述的一种真空测量系统，其特征在于：所述系统还包括信号调理单元，所述信号调理单元将接收到的压降数据进行预处理后传输至控制单元。


3.根据权利要求2所述的一种真空测量系统，其特征在于：所述至少两个并联的闭合回路均包括两个串联连接的电阻，分别从对应闭合回路中两个串联连接的电阻之间引出真空度数据采集端，所述真空数据采集端与信号调理单元连接。


4.根据权利要求2所述的一种真空测量系统，其特征在于：所述信号调理单元具体为具有滤波、增益放大、模数转换功能的模数转换芯片。


5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，吴海斌，
申请(专利权)人：成都兰石低温科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51