一种皮拉尼真空计系统技术方案

本发明专利技术涉及真空压力测量技术领域，具体公开了一种皮拉尼真空计系统，其中，包括：皮拉尼真空阵列、开关控制阵列、信号处理模块和电源，皮拉尼真空阵列与开关控制阵列连接，信号处理模块与开关控制阵列连接，电源分别与皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块连接；皮拉尼真空阵列包括多个皮拉尼真空单元；开关控制阵列用于根据电源的类型控制皮拉尼真空单元之间的连接方式；信号处理模块用于将皮拉尼真空阵列输出的与真空度对应的电压值进行转换得到相应的真空度；电源用于向皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块提供工作所需的电压或电流。本发明专利技术提供的皮拉尼真空计系统能够实现宽量程高灵敏度的真空度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种皮拉尼真空计系统
本专利技术涉及真空压力测量
，尤其涉及一种皮拉尼真空计系统。
技术介绍
微机电系统（MEMS）皮拉尼真空计是一种基于皮拉尼效应的热导型真空传感器。量程和灵敏度是MEMS皮拉尼真空计的两个主要的性能指标。量程决定了传感器能够测量的真空度范围；灵敏度决定了传感器检测微弱真空度变化的能力。为实现宽量程高灵敏度测量，现有工作主要集中于改进单一式的单元结构设计与采用组合式皮拉尼真空系统。单一式皮拉尼真空系统针对单个皮拉尼真空单元，通过改变器件结构扩展了量程的上限或下限，但该类系统不能同时实现测量上下限扩展。组合式皮拉尼真空系统包含多个皮拉尼真空单元，每个单元具有不同的真空范围，通过在不同范围内切换不同的皮拉尼真空单元工作，从而实现了测量上下限的同时扩展。但该类系统需要复杂的控制电路进行皮拉尼真空单元间的选择切换。
技术实现思路
本专利技术提供了一种皮拉尼真空计系统，解决相关技术中存在的无法实现皮拉尼真空单元的高灵敏度且宽量程的问题。作为本专利技术的一个方面，提供一种皮拉尼真空计系统，其中，包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种皮拉尼真空计系统，其特征在于，包括：皮拉尼真空阵列、开关控制阵列、信号处理模块和电源，所述皮拉尼真空阵列与所述开关控制阵列连接，所述信号处理模块与所述开关控制阵列连接，所述电源分别与所述皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块连接；/n所述皮拉尼真空阵列包括多个皮拉尼真空单元，多个皮拉尼真空单元的结构尺寸均不相同，且分别对应着不同的真空度测量区间，多个皮拉尼真空单元通过连接后测量真空度，并得到与真空度对应的电压值；/n所述开关控制阵列用于根据电源的类型控制所述皮拉尼真空阵列的皮拉尼真空单元之间的连接方式；/n所述信号处理模块用于将所述皮拉尼真空阵列输出的与真空度对应的电压值进行转换得...

【技术特征摘要】
1.一种皮拉尼真空计系统，其特征在于，包括：皮拉尼真空阵列、开关控制阵列、信号处理模块和电源，所述皮拉尼真空阵列与所述开关控制阵列连接，所述信号处理模块与所述开关控制阵列连接，所述电源分别与所述皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块连接；
所述皮拉尼真空阵列包括多个皮拉尼真空单元，多个皮拉尼真空单元的结构尺寸均不相同，且分别对应着不同的真空度测量区间，多个皮拉尼真空单元通过连接后测量真空度，并得到与真空度对应的电压值；
所述开关控制阵列用于根据电源的类型控制所述皮拉尼真空阵列的皮拉尼真空单元之间的连接方式；
所述信号处理模块用于将所述皮拉尼真空阵列输出的与真空度对应的电压值进行转换得到相应的真空度；
所述电源用于向所述皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块提供工作所需的电压或电流。


2.根据权利要求1所述的皮拉尼真空计系统，其特征在于，所述开关控制阵列包括控制开关和接口单元，所述控制开关和所述接口单元均与所述皮拉尼真空单元连接，所述控制开关能够控制多个所述皮拉尼真空单元之间的连接方式。


3.根据权利要求2所述的皮拉尼真空计系统，其特征在于，所述开关控制阵列还包括控制器，所述控制器与所述控制开关连接，所述控制器用于根据当前的电源的类型得到对应的皮拉尼真空单元的连接方式，并根据所述皮拉尼真空单元的连接方式生成开关控制信号，所述开关控制信号用于控制所述控制开关的闭合或开...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯万进，傅剑宇，周琼，刘超，侯影，黄鹏，张剑，陈大鹏，
申请(专利权)人：无锡物联网创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32