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本实用新型公开了一种真空测量系统及装置，属于真空测量技术领域，系统包括基于MEMS芯片技术的真空度感知单元和控制单元；真空度感知单元包括基准电压模块、至少两个并联的闭合回路；基准电压模块为闭合回路提供基准电压，每个闭合回路上设有若干电阻；控...
该专利属于成都兰石低温科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都兰石低温科技有限公司授权不得商用。

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