一种监控钙钛矿成膜的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种监控钙钛矿成膜的装置，其属于光伏技术领域，该监控钙钛矿成膜的装置包括：箱体，所述箱体内设有容置腔，电池基底能够安装至所述容置腔内；激光源，设于所述容置腔内，所述激光源发射的激光能够转变为等幅椭圆偏振光并入射到所述电池基底表面的钙钛矿薄膜；传感器，设于所述容置腔内，所述等幅椭圆偏振光能够在所述钙钛矿薄膜上发生偏振变化后被反射至所述传感器以使所述传感器检测光信号；数据处理组件，用于对所述传感器检测到的所述光信号进行处理，以得到所述电池基底上的钙钛矿薄膜的厚度。本实用新型专利技术能够准确获得电池基底上的钙钛矿薄膜的厚度。

【技术实现步骤摘要】
一种监控钙钛矿成膜的装置
本技术涉及光伏
，尤其涉及一种监控钙钛矿成膜的装置。
技术介绍
近年来，随着光伏行业技术的高速发展，钙钛矿材料由于具有高吸光性、带隙可调节性、制备成本低廉以及可附着在柔软材料上等优势，钙钛矿电池越来越备受青睐。钙钛矿材料的光电性能在很大程度上决定于成膜质量的好坏。气相法是现有的钙钛矿的成膜工艺之一。气相法成膜工艺中，需要监控成膜的质量和成膜的厚度，来调控沉积的速率，以可重复性地得到最佳的钙钛矿薄膜。为了检测成膜厚度，现有技术中采用如下方法：(1)在蒸发源上方设置石英晶体传感器，引入工具因子(即沉积在传感器上的材料和沉积在衬底上的材料之比)的参数，通过测量传感器上沉积的膜层厚度来估算衬底上实际成膜的厚度；(2)X射线衍射法；(3)光电子能谱法；(4)钙钛矿颜色分析法。但是，在现有技术中，采用上述方法(1)引入工具因子的参数时，由于工具因子这个参数本身并不是十分精确，且工具因子对实验条件的改变比较敏感，导致计算出来的实际成膜厚度有较大误差；同时石英晶体传感器的可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监控钙钛矿成膜的装置，其特征在于，包括：/n箱体(1)，所述箱体(1)内设有容置腔(11)，电池基底(9)能够安装至所述容置腔(11)内；/n激光源(2)，设于所述容置腔(11)内，所述激光源(2)发射的激光能够转变为等幅椭圆偏振光并入射到所述电池基底(9)表面的钙钛矿薄膜；/n传感器(3)，设于所述容置腔(11)内，所述等幅椭圆偏振光能够在所述钙钛矿薄膜上发生偏振变化后被反射至所述传感器(3)，以使所述传感器(3)检测光信号；/n数据处理组件，用于对所述传感器(3)检测到的所述光信号进行处理，以得到所述电池基底(9)上的钙钛矿薄膜的厚度。/n

【技术特征摘要】
1.一种监控钙钛矿成膜的装置，其特征在于，包括：
箱体(1)，所述箱体(1)内设有容置腔(11)，电池基底(9)能够安装至所述容置腔(11)内；
激光源(2)，设于所述容置腔(11)内，所述激光源(2)发射的激光能够转变为等幅椭圆偏振光并入射到所述电池基底(9)表面的钙钛矿薄膜；
传感器(3)，设于所述容置腔(11)内，所述等幅椭圆偏振光能够在所述钙钛矿薄膜上发生偏振变化后被反射至所述传感器(3)，以使所述传感器(3)检测光信号；
数据处理组件，用于对所述传感器(3)检测到的所述光信号进行处理，以得到所述电池基底(9)上的钙钛矿薄膜的厚度。


2.根据权利要求1所述的监控钙钛矿成膜的装置，其特征在于，所述容置腔(11)内还设有椭圆偏振光合成件(5)，所述椭圆偏振光合成件(5)设置于所述激光源(2)的出光侧，所述激光源(2)发射的激光经由所述椭圆偏振光合成件(5)转变为所述等幅椭圆偏振光。


3.根据权利要求2所述的监控钙钛矿成膜的装置，其特征在于，所述椭圆偏振光合成件(5)包括沿激光的传播路径依次设置的偏振器(51)和λ/4波片(52)。


4.根据权利要求1所述的监控钙钛矿成膜的装置，其特征在于，所述容置腔(11)内还设有检偏器(6)，所述检偏器(6)设于所述传感器(3)的入光侧，所述电池基底(9)反射的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘祖辉，陈龙，蒋方丹，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32