一种复合透镜及其制作方法、红外探测器技术

本申请公开了复合透镜，包括基底；位于基底第一表面的透镜；根据透镜的面型加工误差设置在基底第二表面的第一超表面结构阵列，第一超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；第一表面与第二表面相背。本申请的复合透镜包括基底、分别位于基底第一表面和第二表面的透镜和第一超表面结构阵列，由于透镜和第一超表面结构阵列在基底两个不同的表面上，透镜制作完成后，可以根据透镜的面型而设置第一超表面结构阵列，以修正透镜加工时由于面型误差而产生的像差，并且由于可以在透镜制作完成后设置第一超表面结构阵列，对加工误差的容忍度极高。本申请还提供一种具有上述优点的复合透镜制作方法和红外探测器。

【技术实现步骤摘要】
一种复合透镜及其制作方法、红外探测器
本申请涉及光学
，特别是涉及一种复合透镜及其制作方法、红外探测器。
技术介绍
随着光学技术的发展，光学器件的大规模集成，小型化和功能多样性成为新的发展目标。由于传统透镜的体积和重量均较大，基于超表面的复合透镜应运而生。超表面是一种二维光学平面，通过按照特定方式排列在超表面的亚波长结构，可以实现对入射电磁波振幅、相位以及偏振等参量的灵活调控，突破了传统光学透镜的电磁属性。目前，基于超表面的复合透镜图1所示，在基底的一个表面分布有超表面结构阵列，由光刻胶形成的球透镜覆盖于超表面上方，一旦球透镜加工完成，产生的加工误差则无法通过调整超表面结构阵列进行修正，进而影响了复合透镜的成像效果。因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。
技术实现思路
本申请的目的是提供一种复合透镜及其制作方法、红外探测器，以修正由于透镜的面型加工误差而产生的像差，提升复合透镜的成像效果。为解决上述技术问题，本申请提供一种复合透镜，包括：基底；>位于所述基底第一表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合透镜，其特征在于，包括：/n基底；/n位于所述基底第一表面的透镜；/n根据所述透镜的面型设置在所述基底第二表面的第一超表面结构阵列，所述第一超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；/n其中，所述第一表面与所述第二表面相背。/n

【技术特征摘要】
1.一种复合透镜，其特征在于，包括：
基底；
位于所述基底第一表面的透镜；
根据所述透镜的面型设置在所述基底第二表面的第一超表面结构阵列，所述第一超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；
其中，所述第一表面与所述第二表面相背。


2.如权利要求1所述的复合透镜，其特征在于，还包括：
键合层，用于连接所述透镜和所述基底的所述第一表面。


3.如权利要求2所述的复合透镜，其特征在于，当所述透镜为双凸球面球透镜时，还包括：
位于所述基底的所述第一表面的第二超表面结构阵列，所述第二超表面结构阵列位于所述双凸球面球透镜与所述第一表面形成的空腔内，其中，所述第二超表面结构阵列包括多个超表面结构单元。


4.如权利要求1所述的复合透镜，其特征在于，所述透镜和所述基底为一体式结构。


5.如权利要求1所述的复合透镜，其特征在于，所述基底的所述第二表面为阶梯状表面，且所述阶梯状表面为左右对称的表面。


6.如权利要求1至5任一项所述的复合透镜，其特征在于，所述超表面结构单元为轴对称的超表面结构单元。


7.一种复合透镜制作方法，其特征在于，包括：
获得包括基底和透镜的透镜组合；所述透镜与所述基底的第一表面相连；
获得所述透镜的面型；
根据所述面型在所述基底的第二表面形成第一超表面结构阵列，所述第一超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；
其中，所述第一表面与所述第二表面相背。


8.如权利要求7所述的复合透镜制作方法，其特征在于，当所述透镜为双凸球面球透镜时，所述获得包括基底和透镜的透镜组合包括：
获得所述基底；
在透镜基板的上表面旋涂第一光刻胶；
利用灰度光刻法、纳米压印法、激光直写法、热回流法中的任一种方法，对所述第一光刻胶进行处理以形成与所述双凸球面球透镜中第一球面相匹配的图案；
对所述上表面进行刻蚀，形成所述双凸球面球透镜的所述第一球面；
在所述透镜基板的下表面旋涂第二光刻胶；
利用灰度光刻法、纳米压印法、激光直写法、热回流法中的任一种方法，对所述第二光刻胶进行处理以形成与所述双凸球面球透镜中第二球面相匹配的图案；
对所述下表面进行刻蚀，形成所述双凸球面球透镜的所述第二球面，得到所述双凸球面球透镜；
相应的，所述根据所述面型在所述基底的第二表面形成第一超表面结构阵列之后，还包括：
在所述基底的所述第一表面形成第二超表面结构阵列...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁心宇，王鹏，李君宇，虞传庆，
申请(专利权)人：烟台睿创微纳技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37