【技术实现步骤摘要】
一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法
本专利技术属于纳米制造技术和纳米测试领域，尤其涉及一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法。
技术介绍
原子力显微镜技术是目前纳米尺度测试和表征的一个重要技术，在芯片测试，材料表征，生物测量等领域都有不可替代的地位。而原子力显微镜探针是它的最核心部件，决定了测量的精度和准确度。原子力显微镜探针大部分都是由一个微悬臂梁和在靠近其自由端的一个垂直针尖组成。目前的原子力显微镜探针和样品的角度一般是固定的，而且探针的微悬臂梁平面是和样品平面有一定角度的，如图3所示，微悬臂梁平面和样品表面倾斜10-15度左右；所以在测试高深宽比微纳结构的时候存在测不准，无法接触底部的情况。综上，目前的一个技术瓶颈在于测试高深宽比的结构或者较深的槽结构，探针很难进入到槽的底部，导致测试不准确，无法反映出真实的结构；另外，目前的原子力显微镜探针无法扫描到结构的侧面；而通过具有倾斜角度的针尖的探针，可以扫描到结构的侧面。目前没有商业上可行的技术实现这个目标。因为主流的原子力显微镜探针利用微制造工艺，通过硅的刻蚀...
【技术保护点】
1.一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法，其特征在于，具体为：首先可以定位原子力显微镜探针针尖的底部在微悬臂梁上的位置，然后可以在针尖底部处附近注入高能离子束，使作用区域产生局部隆起，从而使原子力显微镜探针针尖倾斜；通过控制离子束剂量控制隆起的程度，从而控制原子力显微镜探针针尖的倾斜角度。/n
【技术特征摘要】
1.一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法，其特征在于，具体为：首先可以定位原子力显微镜探针针尖的底部在微悬臂梁上的位置，然后可以在针尖底部处附近注入高能离子束，使作用区域产生局部隆起，从而使原子力显微镜探...
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