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本发明公开了一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法，该方法通过高能离子束(如氦离子)注入到针尖底部附近，使得针尖附件衬底材料发生隆起，从而引起针尖的倾斜，类似比萨斜塔效应，可以实现针尖的倾斜。通过控制离子束注入的剂量，可以控制隆起的体积，控...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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