光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置制造方法及图纸

本发明专利技术适用于图像处理领域和显微成像领域，提供了一种光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置，该装置包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜和分束器之间，且位于所述准直透镜的焦面上；所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。由于采用的光热反射显微热成像装置中增加的调制片和调光装置，可以有效抑制光源强度漂移和相机响应度漂移对参考图像和待修正图像的采集，并且不需要对被测物温度进行调制，即可实现对静态目标的温度测量。

【技术实现步骤摘要】
光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置
本专利技术属于图像处理领域和显微成像领域，尤其涉及一种光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置。
技术介绍
光热反射测温技术是一种非接触测温技术，其基础是光热反射现象，光热反射现象基本的特征是物体的反射率会随物体的温度变化而变化。基于光热反射进行测温时，利用光学显微镜的照明系统提供探测光，使用高性能相机记录显微成像，输出的相机读数作为测量值。但是测温过程中，探测光强度会有随机变化，相机的响应度也会随之变化，从而影响测温结果的准确性。目前应对探测光强度漂移和相机的响应度漂移现象的主要手段是对被测施加调制，令其温度在参考温度和待测温度之间循环变化，每次循环计算一次温度变化，多次循环得到的温度变化平均值作为最终的测量结果。由于每次循环耗时相对较短，从而能够在一定程度上抑制漂移的影响。然而，上述抑制漂移的方法中必须对被测施加调制，令其温度循环变化，并且相机的图像采集也需要同步控制，操作复杂。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种光热反射显微热成像装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光热反射显微热成像装置，其特征在于，包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；/n所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜和分束器之间，且位于所述准直透镜的焦面上；/n所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。/n

【技术特征摘要】
1.一种光热反射显微热成像装置，其特征在于，包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；
所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜和分束器之间，且位于所述准直透镜的焦面上；
所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。


2.如权利要求1所述的光热反射显微热成像装置，其特征在于，所述调光装置，包括：衰减片和反射镜；
所述衰减片和所述反射镜分别设置在所述分束器直通路上，且所述衰减片位于所述反射镜前面。


3.一种用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，基于上述权利要求1-2中任一项所述的光热反射显微热成像装置，包括：
遮断物镜侧光路，采集光热反射显微热成像装置中像面处的相机传感器的第一图像；
去掉物镜侧光路上的遮挡，采集被测物分别在参考时刻的参考图像和除所述参考时刻之外的任意时刻的待修正图像，并对所述第一图像、所述参考图像和所述待修正图像进行频域处理，得到处理后的第一图像、处理后的参考图像和处理后的待修正图像；
对所述处理后的第一图像进行频率处理，得到第二图像；
根据所述第二图像、所述处理后的参考图像和所述处理后的待修正图像计算修正系数；
根据所述修正系数修正所述待修正图像的所有像素，得到修正后的图像。


4.如权利要求3所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，所述对所述第一图像、所述参考图像和所述待修正图像进行频域处理，得到处理后的第一图像、处理后的参考图像和处理后的待修正图像，包括：
对所述第一图像、所述参考图像和所述待修正图像进行傅里叶变换，得到变换后的第一图像、变换后的参考图像和变换后的待修正图像。


5.如权利要求3或4所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，所述对所述处理后的第一图像进行频率处理，得到第二图像，包括：
将处理后的第一图像中零频率点数据修改为零，得到第二图像。


6.如权利要求5所述的用于光热反射显微热成像的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘岩，乔玉娥，邹学锋，刘霞美，丁晨，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北;13