一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，包括氢气源、接收瓶和气化装置，所述氢气源通过输气管连接在接收瓶，所述气化装置设置在氢气源和接收瓶之间的输气管上，所述氢气源与气化装置之间设置有定量装置，通过定量装置控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶内设置有混合装置，通过混合装置对接收瓶内得气体进行混合。解决了液态MO源定量转移至钢瓶问题。管线置换与物料转移步骤合并，既保证了安全也保证了物料的100%转移，浓度控制好。做到更精确，质量更高，大大提高了混合气的配置效率，降低了安全风险、质量风险。

【技术实现步骤摘要】
一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置
本专利技术涉及电子级混合气生产领域，尤其涉及一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置。
技术介绍
在制造液态MO源时，需要对液态MO源进行定量转移，而目前对于液态MO源进行定量转移，一般是通过用玻璃安培瓶密封MO源后直接放于钢瓶，直接置换钢瓶后充气，并打碎安培瓶，经过滚瓶使样品气均匀混合，但这样很浪费玻璃安培瓶，并且在最初始的操作中，所有的置换操作均为手动操作，时间效率都有所欠缺，存在质量及安全隐患；对液态MO源定量取用一般采取在手套箱内进行定量称重，气氛杂质难以控制，箱内压力也会影响称量精度；多步骤操作，搬运增加很多工作量，也增加了很多风险。因此，解决制备液态MO源时不易定量转移及称重精度不易控制的问题就显得尤为重要了。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术的目的是提供了一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，通过氢气源加入氢气，气化装置对二乙基碲液态MO源进行气化，吹入接收瓶内，自动完成液态MO源的转移工作，并且通过压力检测控制装置和称重装置进行配合，对液态MO源的重量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：包括氢气源（1）、接收瓶（2）和气化装置（3），所述氢气源（1）通过输气管连接在接收瓶（2），所述气化装置（3）设置在氢气源（1）和接收瓶（2）之间的输气管上，所述氢气源（1）与气化装置（3）之间设置有定量装置（4），通过定量装置（4）控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶（2）内设置有混合装置（5），通过混合装置（5）对接收瓶（2）内得气体进行混合。/n

【技术特征摘要】
1.一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：包括氢气源（1）、接收瓶（2）和气化装置（3），所述氢气源（1）通过输气管连接在接收瓶（2），所述气化装置（3）设置在氢气源（1）和接收瓶（2）之间的输气管上，所述氢气源（1）与气化装置（3）之间设置有定量装置（4），通过定量装置（4）控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶（2）内设置有混合装置（5），通过混合装置（5）对接收瓶（2）内得气体进行混合。


2.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：所述气化装置（3）旁设置有压力检测控制装置（6），通过压力检测控制装置（6）对接收瓶（2）内补充氢气的压力进行检测，并对定量装置（4）的补充进行控制。


3.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑锐，俞冬雷，李强强，
申请(专利权)人：安徽亚格盛电子新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34