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本发明提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，包括氢气源、接收瓶和气化装置，所述氢气源通过输气管连接在接收瓶，所述气化装置设置在氢气源和接收瓶之间的输气管上，所述氢气源与气化装置之间设置有定量装置，通过定量装置控制所需配置浓度的液态M...
该专利属于安徽亚格盛电子新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽亚格盛电子新材料有限公司授权不得商用。

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