锆钛酸铅介质反射膜系及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种锆钛酸铅介质反射膜系及制备方法，该反射膜系由多个周期，每个周期有二层折射率不同的锆钛酸铅膜层交替排列而成。制备方法采用溶胶－凝胶法生长，溶剂为己二醇甲醚，稳定剂为己酰丙酮，增稠剂为聚乙烯吡咯烷酮，防裂剂为正丙醇。溶质为硝酸铅、正丁醇钛、异丙醇锆。本方法涉及的设备简单，操作方便，成本低廉，能大面积制备均匀无裂纹的多层薄膜材料。通过本发明专利技术制作的多层锆钛酸铅介质膜系在特定的波段，能以接近１００％的反射率反射光能。制备的膜堆坚固，抗热冲击，防潮，适用作高反射率的布拉格反射镜，也可作为制作干涉滤光片、光学谐振腔、光波导元器件和微波元器件的材料。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及锆钛酸铅薄膜材料，具体是指一种用于反射镜、干涉滤光片、光学谐振腔的锆钛酸铅介质反射膜系及利用溶胶-凝胶法制备介质反射膜系的方法。
技术介绍
锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3，0＜x＜1，简称PZT)不仅具有优异的介电、铁电、压电和热释电特性，而且具有显著的电光、声光和非线性光学等物理效应，因而成为制作存储器、换能器、传感器、红外探测器、微波器件的最重要材料之一。薄膜材料，在实现器件微型化、轻量化和集成化方面比体材料更具优势，因此，PZT薄膜材料的制备、结构物性及其应用倍受人们关注。制备PZT薄膜材料的方法主要有激光蒸熔、射频溅射、化学气相沉积、丝网印刷和溶胶-凝胶等。其中，溶胶-凝胶法因其化学计量比可精确控制，工艺简单，成本低，特别是能有效地抑制铅的挥发等优点而被广泛用来制备PZT薄膜材料。目前，用作反射镜、干涉滤光片、光学谐振腔的多层介质膜是通过镀膜技术将介电函数不同的两种材料作周期性排列而形成的。构建介质膜系常见的材料有ZnS/Na3AlF6(CaF2，MgF6)、TiO2/SiO2、GaAs/Al2O3(GaAlAs)等。然而PZT材料却没在此领域得到应用。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种锆钛酸铅介质反射膜系，它是由多个周期，每个周期有二层不同折射率的锆钛酸铅膜层交替排列而成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡古今，戴宁，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]