一种镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种镀膜设备，包括转盘、驱动装置、底盘、副齿轮和置物杆，所述驱动装置控制所述转盘旋转，所述置物杆与所述副齿轮连接，所述底盘设有与所述置物杆适配的支撑孔，所述副齿轮位于所述底盘底面对应所述支撑孔的位置，还包括中心齿轮，所述转盘设有旋转孔，所述中心齿轮位于所述旋转孔内，所述底盘外壁设有与所述中心齿轮啮合的轮齿，所述转盘设有与所述副齿轮啮合的主齿轮，所述转盘转动连接于所述主齿轮上。本实用新型专利技术提供了一种能使镀件三重旋转的镀膜设备。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备
本技术涉及镀膜
，具体的说，涉及一种镀膜设备。
技术介绍
现有技术的镀膜机的置物架放置在镀膜腔内，镀膜腔内的置物架水平放置，待镀膜件挂在置物架上等待镀膜，由于镀膜腔的空间有限，在相同的体积中水平放置的置物架上所能放置待镀膜件的可用空间较小，每一次放进镀膜机里的数量有限，需要进行多次镀膜工艺，无法充分利用镀膜腔内的可用空间，降低镀膜效率。此外镀膜机多采用固定式镀膜，由于靶材与离子源的距离不等，从而造成镀膜层厚度不均匀现象发生，并且纳米涂层附着力较差，生产的产品质量不高。中国专利文献CN206328456U公开了一种镀膜机室内旋转镀膜架，一种镀膜机室内旋转镀膜架，包括转动盘及设置在转动盘下方的驱动电机，所述转动盘上设有多组且呈环形阵列的多工位旋转置物架，所述多工位旋转置物架通过转轴转动连接于所述转动盘上，所述多工位旋转置物架包括底盘、上盘和设置在所述底盘与上盘之间的连接轴，所述底盘内具有呈环形阵列的齿轮盘组，相邻的齿轮盘之间相互啮合，在所述齿轮盘组内设有与所述齿轮盘组啮合的驱动齿轮盘，在所述齿轮盘上设有置物杆。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备，包括转盘、驱动装置、底盘、副齿轮和置物杆，所述驱动装置控制所述转盘旋转，所述置物杆与所述副齿轮连接，所述底盘设有与所述置物杆适配的支撑孔，所述副齿轮位于所述底盘底面对应所述支撑孔的位置，其特征在于：还包括中心齿轮，所述转盘设有旋转孔，所述中心齿轮位于所述旋转孔内，所述底盘外壁设有与所述中心齿轮啮合的轮齿，所述转盘设有与所述副齿轮啮合的主齿轮，所述转盘转动连接于所述主齿轮上。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，包括转盘、驱动装置、底盘、副齿轮和置物杆，所述驱动装置控制所述转盘旋转，所述置物杆与所述副齿轮连接，所述底盘设有与所述置物杆适配的支撑孔，所述副齿轮位于所述底盘底面对应所述支撑孔的位置，其特征在于：还包括中心齿轮，所述转盘设有旋转孔，所述中心齿轮位于所述旋转孔内，所述底盘外壁设有与所述中心齿轮啮合的轮齿，所述转盘设有与所述副齿轮啮合的主齿轮，所述转盘转动连接于所述主齿轮上。


2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述中心齿轮设有齿轮部和连接部，所述旋转孔与所述连接部适配。


3.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述转盘设有旋转槽，所述主齿轮位于所述旋转槽底面的中心，所述旋转槽给所述副齿轮提供活动空间。


4.根据权利要求3所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述底盘包括旋转部和啮合部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：金武磊，
申请(专利权)人：温州华弘真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33