【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机电光学显示元件，特别是涉及一种微机电光学显示元件的支撑结构。
技术介绍
美国专利公告第6,574,033号及6,794,119号分别揭露一种新型微机电光学显示元件(Microelectrooptomechanical systems，MEMO)，其透过悬浮的反射结构，配合干涉原理，达成影像显示的目的。图1A为现有微机电光学显示元件的结构示意图，微机电光学显示元件10的玻璃基板12表面具有一导电层13及一介电层14，反射层18由多个支撑柱16所支撑，并以一间距d1悬浮设置于介电层14上。支撑柱16由高分子材料沉积形成，在支撑柱16的顶端具有横向延伸的顶部162，可增加支撑柱16对悬浮反射层18的黏着强度，并分担部分反射层18变形时所产生的应力。如图1A所示，当具有多波长λ1，λ2，...，λn的入射光穿过玻璃基板12而由反射层18反射时，一特定波长λ1的光线会因建设性干涉增强而反射出去，其余波长λ2，...，λn的光线则因破坏性干涉而相互抵消，其中，产生建设性干涉的波长由介电层14与反射层18的间距d1所决定。如图1B所示，当导电层13及反...
【技术保护点】
一种微机电光学显示元件，包括：一导电层；一介电层，设置于该导电层上；一反射层，以相距一既定间距设置于该介电层之上；以及多个支撑柱，设置于该介电层以及该反射层之间，该介电层与该些支撑柱的侧面呈锐角。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉盛，林汉涂，翁嘉璠，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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