用于制造波导的方法和装置及由其制造的波导制造方法及图纸

适于制造波导（３０）的方法，该方法包括：测量光子器件（３１，３２，３４）相对于衬底（２０）的位置偏差；生成计算机可读的指令，用于使用多个图形元素（１６）以形成波导；以及按照计算机可读的指令在衬底上为波导进行照相排版。中间掩模（１４）包括多个图形元素，该多个图形元素中至少一个包括锥形端部。波导（３０）包括多个波导分段（２２），该多个波导分段中的每一个包括锥形端部且与该多个波导分段中其他的至少一个相邻接。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
可以使用平版印刷技术利用聚合物或无机材料制造波导，在平版印刷技术中对准掩模并曝光感光材料。在这类技术中，如果要通过单模波导连接几个光学器件，器件的位置必须要精确到亚微米的公差。例如，在一种用于有源地将VCSEL(垂直腔面发射激光器)对准光纤的通用方法中，VCSEL芯片是在监视波导输出的同时对准到波导上的。典型光子模块的装配成本的一大半是在这种有源对准工艺过程中造成的。因此理想地是具有调节波导和器件位置的能力，从而放松制造过程中器件位置的定位公差的要求。此外有用的是，具有一种成本不高的制造技术，这种制造技术能够在对准之前将VCSEL芯片和探测器固定到位。
技术实现思路
简单地说，根据本专利技术的一个实施例，一种用于自适应地制造波导的方法包括测量光子器件相对于衬底的位置偏差；生成计算机可读的指令，用于使用多个图形元素形成波导；以及按照计算机可读的指令在衬底上为波导进行照相排版。按照本专利技术的另一实施例，计算机可读媒体存储计算机命令，以指挥计算机系统写出计算机可读的指令，用于使用多个图形元素形成波导。在该实施例中，计算机命令包括访问对准文件(align file)，该文件包括描述光子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适于制造波导（３０）的方法，其包括：（ａ）测量光子器件（３１，３２，３４）相对于衬底（２０）的位置偏差；（ｂ）生成计算机可读的指令，用于使用多个图形元素（１６）来形成所述波导；（ｃ）按照所述计算机可读的指令在所述 衬底上为所述波导进行照相排版。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧内斯特W鲍尔奇，伦纳德R道格拉斯，施旻宜，
申请(专利权)人：通用电气公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]