绝对压力感测微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备技术方案

本说明书实施例提供绝对压力感测微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备。该绝对压力感测微机电系统麦克风，包括：振膜；背极板；位于振膜和背极板之间的间隔件，其中，所述振膜、背极板和间隔件形成真空腔，真空腔中的气压是第一气压，其中，通过所述间隔件将振膜和背极板间隔开的间隙是制作间隙，其中，在振膜内侧和外侧的气压都是第一气压的状态下，振膜与背极板之间的有效真空间隙是第一真空间隙，以及其中，第一真空间隙大于制作间隙。

【技术实现步骤摘要】
绝对压力感测微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备
本说明书涉及微机电系统麦克风
，更具体地，涉及一种绝对压力感测微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备。
技术介绍
在绝对压力感测器中，压力感测膜的一侧是真空，另一侧是待感测的压力环境。这里的真空指的是近似真空，可以是气压远低于标准大气压的环境。图1示出了一种微机电系统(MEMS)绝对压力感测器的不同状态。图1所示的MEMS绝对压力感测器可以是电容型感测器。在图1中，压力感测膜11、极板12和间隔件13形成真空腔14。图1(A)示出的是在真空环境中在未施加工作偏压的情况下MEMS绝对压力感测器的状态。如图1(A)所示，压力感测膜11位于平整位置P。图1(A)可以是制造MEMS绝对压力感测器时的状态。图1(B)示出的是在大气压环境中在未施加工作偏压的情况下MEMS绝对压力感测器的状态。如图1(B)所示，由于大气压的作用，压力感测膜11偏离平整位置P并向下凹陷。图1(B)可以是MEMS绝对压力感测器未被使用时的状态。图1(C)示出的是在大气压环境中在施加工作偏压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种绝对压力感测微机电系统麦克风，包括：/n振膜；/n背极板；/n位于振膜和背极板之间的间隔件，/n其中，所述振膜、背极板和间隔件形成真空腔，真空腔中的气压是第一气压，/n其中，通过所述间隔件将振膜和背极板间隔开的间隙是制作间隙，/n其中，在振膜内侧和外侧的气压都是第一气压的状态下，振膜与背极板之间的有效真空间隙是第一真空间隙，以及/n其中，第一真空间隙大于制作间隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种绝对压力感测微机电系统麦克风，包括：
振膜；
背极板；
位于振膜和背极板之间的间隔件，
其中，所述振膜、背极板和间隔件形成真空腔，真空腔中的气压是第一气压，
其中，通过所述间隔件将振膜和背极板间隔开的间隙是制作间隙，
其中，在振膜内侧和外侧的气压都是第一气压的状态下，振膜与背极板之间的有效真空间隙是第一真空间隙，以及
其中，第一真空间隙大于制作间隙。


2.根据权利要求1所述的绝对压力感测微机电系统麦克风，其中，第一真空间隙大于或等于制作间隙的2倍。


3.根据权利要求2所述的绝对压力感测微机电系统麦克风，其中，第一真空间隙小于或等于制作间隙的10倍。


4.根据权利要求1所述的绝对压力感测微机电系统麦克风，其中，在标准大气压下，振膜与背极板之间的有效真空间隙是第二真空间隙，以及第二真空间隙大于制作间隙。


5.根据权利要求1所述的绝对压力感测微机电系统麦克风，其中，在标准大气压下，在施加工作偏压的状态下，振膜与背极板之间的有效真空间隙是第三真空间隙，以及第三真空间隙大于或等于制作间隙的80％且小于或等于制作间隙的120％。


6.根据权利要求1所述的绝对压力感测微机电系统麦克风，其中，通过应力结构，对振膜进行预拉偏，以使得第一真空间隙大于制作间隙。


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【专利技术属性】
技术研发人员：邹泉波，王德信，方华斌，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37