一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法技术

本发明专利技术涉及一种钝化剂，包括为咪唑盐类离子液体、吡啶盐类离子液体、季铵盐类离子液体、季鏻盐类离子液体、吡咯烷盐类离子液体、哌啶盐类离子液体、功能化离子液体、二茂铁类有机物、金属酞菁化合物、金属乙酰丙酮化合物、有机金属、卤键化合物以及有机硼化物中的至少一种。本发明专利技术还公开一种使用该钝化剂制备半导体薄膜的方法。本发明专利技术将钝化剂沉积在半导体薄膜与其接触的界面材料之间，和/或加入到制备半导体薄膜的原材料中，为钝化剂与半导体薄膜材料提供了一个均匀稳定的反应环境，可在制备过程中控制半导体薄膜的晶体生长，极大地改善了半导体薄膜的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法
本专利技术属于半导体制备
，特别涉及一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法。
技术介绍
近年来，一种钙钛矿太阳能电池受到广泛关注。钙钛矿为ABX3型的立方八面体结构，如图1所示，这种钙钛矿太阳能电池以有机金属卤化物为光吸收层。此种材料制备的薄膜太阳能电池工艺简便、生产成本低、稳定且转化率高。自2009年至今，光电转换效率从3.8%提升至22%以上，已高于现有的商业化的晶硅太阳能电池且具有较大的成本优势。与其他传统太阳能电池相比，钙钛矿太阳能电池更容易受到水分、氧气、温度、光照等因素的影响，而且钙钛矿太阳能电池在光照下容易产生离子迁移现象，特别是卤素离子的迁移，此现象导致电池的磁滞效应以及器件性能的恶化。其中，钙钛矿活性层表面、传输层表面、以及钙钛矿晶界恰恰是最容易发生降解或发生离子迁移等不良现象的地方。钙钛矿太阳能电池的不稳定性主要来源于钙钛矿材料内部的离子迁移、界面不匹配诱导的离子迁移，以及金属电极扩散后与钙钛矿中的迁移离子反应造成的钙钛矿材料的退化。因此抑制钙钛矿材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钝化剂，其特征在于，所述钝化剂沉积在半导体薄膜与其接触的界面材料之间，和/或加入到制备半导体薄膜的原材料中，在该钝化剂材料的分子中同时具备富电子基团去提供电子以及电子受体位点，其中，所述具有富电子基团去提供电子的分子常见的为含N、P、O、S中任意一种的化合物分子，所述电子受体位点是具有空轨道的金属阳离子或者贫电子基团。/n

【技术特征摘要】
1.一种钝化剂，其特征在于，所述钝化剂沉积在半导体薄膜与其接触的界面材料之间，和/或加入到制备半导体薄膜的原材料中，在该钝化剂材料的分子中同时具备富电子基团去提供电子以及电子受体位点，其中，所述具有富电子基团去提供电子的分子常见的为含N、P、O、S中任意一种的化合物分子，所述电子受体位点是具有空轨道的金属阳离子或者贫电子基团。


2.如权利要求1所述的钝化剂，其特征在于，所述钝化剂为咪唑盐类离子液体、吡啶盐类离子液体、季铵盐类离子液体、季鏻盐类离子液体、吡咯烷盐类离子液体、哌啶盐类离子液体、功能化离子液体中的至少一种，或者为二茂铁类有机物中的至少一种，或者为金属酞菁化合物中的至少一种，或者为金属乙酰丙酮化合物中的至少一种，或者为有机金属中的至少一种，或者为卤键化合物中的至少一种，或者为有机硼化物中的至少一种。


3.如权利要求2所述的钝化剂，其特征在于，所述咪唑类离子液体包括1-己基-2,3-二甲基咪唑六氟磷酸盐、1-十六基-2,3-二甲基咪唑六氟磷酸盐、1-己基-2,3-二甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-2,3-二甲基咪唑溴盐、1-丁基-2,3-二甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-丁基-2,3-二甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丁基-2,3-二甲基咪唑氯盐、1-十六基-3-甲基咪唑溴盐、1-十六基-3-甲基咪唑氯盐、1-十四基-3-甲基咪唑溴盐、1-十四基-3-甲基咪唑氯盐、1-十二基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-十二基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-十二基-3-甲基咪唑溴盐、1-十二基-3-甲基咪唑氯盐、1-癸基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-癸基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-癸基-3-甲基咪唑溴盐、1-癸基-3-甲基咪唑氯盐、1-辛基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-辛基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑溴盐、1-辛基-3-甲基咪唑氯盐、1-己基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-己基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑溴盐、1-己基-3-甲基咪唑氯盐、1-戊基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-戊基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-戊基-3-甲基咪唑溴盐、1-戊基-3-甲基咪唑氯盐、1-丙基-3-甲基咪唑双(三氟甲烷磺酰)亚胺盐、1-丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑对甲基苯磺酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑硫氰酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑二腈胺盐、1-丁基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-丁基-3-甲基咪唑高氯酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑磷酸二氢盐、1-丁基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-丁基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑碘盐、1-丁基-3-甲基咪唑氯盐、1-丁基-3-甲基咪唑溴盐、1-丙基-3-甲基咪唑碘盐、1-丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丙基-3-甲基咪唑溴盐、1-丙基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑对甲基苯磺酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑硫氰酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑二腈胺盐、1-乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙基-3-甲基咪唑高氯酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑碘盐、1-乙基-3-甲基咪唑溴盐、1-乙基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐；
所述吡啶盐类离子液体包括N-辛基吡啶溴盐、N-己基吡啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-己基吡啶六氟磷酸盐、N-己基吡啶四氟硼酸盐、N-己基吡啶溴盐、N-丁基吡啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-丁基吡啶六氟磷酸盐、N-丁基吡啶四氟硼酸盐、N-丁基吡啶溴盐、N-乙基吡啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-乙基吡啶六氟磷酸盐、N-乙基吡啶四氟硼酸盐、N-乙基吡啶溴盐；
所述季铵盐类离子液体包括三丁基甲基铵双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三丁基甲基氯化铵、N-甲氧基乙基-N-甲基二乙基铵四氟硼酸盐；
所述季鏻盐类离子液体三丁基己基膦双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三丁基己基溴化膦、四丁基膦双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、四丁基溴化膦、三丁基乙基膦双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三丁基乙基溴化膦；
所述吡咯烷盐类离子液体包括N-丁基-N-甲基吡咯烷双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-丁基-N-甲基吡咯烷溴盐；
所述哌啶盐类离子液体包括N-丁基-N-甲基哌啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-丁基-N-甲基哌啶溴盐；
所述功能化离子液体包括盐酸胍、碳酸胍、四甲基胍乳酸盐、四甲基胍三氟甲烷磺酸盐、四甲基胍硫酸氢盐、四甲基胍盐酸盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑溴盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑氯盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑溴盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑溴盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑氯盐、1-苄基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-苄基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑溴盐、1-苄基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑溴盐、1-乙基甲基醚-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基甲基醚-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-乙基甲基醚-3-甲基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑双三氟甲烷磺酰亚胺盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑六氟磷酸盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑四氟硼酸盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑双三氟甲烷磺酰亚胺盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑六氟磷酸盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑四氟硼酸盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑六氟磷酸盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑四氟硼酸盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑溴盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑六氟磷酸盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑四氟硼酸盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑溴盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑氯盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑溴盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑氯盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑氯盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑对甲基苯磺酸盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑六氟磷酸盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑四氟硼酸盐、1-羟乙基-2,3-二甲基咪唑氯盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑对甲基苯磺酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑二腈胺盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑高氯酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑氯盐、三甲基羟乙基铵双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三甲基羟乙基铵六氟磷酸盐、三甲基羟乙基铵四氟硼酸盐、三甲基羟乙基铵氯盐、N-磺酸丁基吡啶对甲苯磺酸盐、N-磺酸丁基吡啶三氟甲磺酸盐、N-磺酸丁基吡啶硫酸氢盐、磺酸丁基吡啶内酯、N-磺酸丙基吡啶对甲苯磺酸盐、N-磺酸丙基吡啶三氟甲磺酸盐、N-丙基磺酸吡啶硫酸氢盐、磺酸丙基吡啶内酯、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑磷酸二氢盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑氯盐、1-磺酸丁基-3-甲基咪唑内盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑磷酸二氢盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑氯盐、1-磺酸丙基-3-甲基咪唑内盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-胺丙基-3-甲...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：杭州纤纳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33