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一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法技术
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下载一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法的技术资料
文档序号:26732912
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本发明涉及一种钝化剂,包括为咪唑盐类离子液体、吡啶盐类离子液体、季铵盐类离子液体、季鏻盐类离子液体、吡咯烷盐类离子液体、哌啶盐类离子液体、功能化离子液体、二茂铁类有机物、金属酞菁化合物、金属乙酰丙酮化合物、有机金属、卤键化合物以及有机硼化物...
该专利属于杭州纤纳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州纤纳光电科技有限公司授权不得商用。
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