一种应变式压力传感器的绝压封装结构制造技术

本发明专利技术属于压力传感器技术领域，尤其为一种应变式压力传感器的绝压封装结构，包括基座、罩壳、弹性体膜片、引线板以及用于装配弹性体膜片和引线板的装配机构，所述罩壳螺纹连接于基座的底端，所述罩壳与基座的连接端之间通过O型密封圈密封，所述基座的中部设有感压通道，所述装配机构是由装配板、压环、盖板和锁固螺栓组成。本发明专利技术的罩壳与装配机构均采用可拆卸安装结构，使装配工艺更为简便，有效降低传感器的制造成本，同时便于对构件进行维护和更换，使用方便，利用装配机构统一装配弹性体膜片和引线板，具有结构简单、紧凑的特点，稳定性高，实用性强，保证了传感器内部的密封性，满足高可靠性绝压测量要求。

【技术实现步骤摘要】
一种应变式压力传感器的绝压封装结构
本专利技术涉及压力传感器
，具体为一种应变式压力传感器的绝压封装结构。
技术介绍
应变计中应用最多的是粘贴式应变计(即应变片)。它的主要缺点是输出信号小、线性范围窄，而且动态响应较差(见电阻应变计、半导体应变计)。但由于应变片的体积小，商品化的应变片有多种规格可供选择，而且可以灵活设计弹性敏感元件的形式以适应各种应用场合，所以用应变片制造的应变式压力传感器仍有广泛的应用。按弹性敏感元件结构的不同，应变式压力传感器大致可分为应变管式、膜片式、应变梁式、组合式四种。膜片式压力传感器的弹性敏感元件为周边固定圆形金属平膜片。膜片受压力变形时，中心处径向应变和切向应变均达到正的最大值，而边缘处径向应变达到负的最大值，切向应变为零。因此常把两个应变片分别贴在正负最大应变处，并接成相邻桥臂的半桥电路以获得较大灵敏度和温度补偿作用。采用圆形箔式应变计(见电阻应变计)则能最大限度地利用膜片的应变效果(图2)。这种传感器的非线性较显著。膜片式压力传感器的最新产品是将弹性敏感元件和应变片的作用集于单晶硅膜片一身，即采本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应变式压力传感器的绝压封装结构，包括基座(1)、罩壳(2)、弹性体膜片(3)、引线板(4)以及用于装配弹性体膜片(3)和引线板(4)的装配机构(5)，其特征在于：所述罩壳(2)螺纹连接于基座(1)的底端，所述罩壳(2)与基座(1)的连接端之间通过O型密封圈(10)密封，所述基座(1)的中部设有感压通道(6)，所述装配机构(5)是由装配板(501)、压环(502)、盖板(503)和锁固螺栓(504)组成，所述弹性体膜片(3)嵌装于装配板(501)内部，所述压环(502)搭接于装配板(501)上并紧压弹性体膜片(3)，所述装配板(501)通过压环(502)与盖板(503)连接，所述引线板(...

【技术特征摘要】
1.一种应变式压力传感器的绝压封装结构，包括基座(1)、罩壳(2)、弹性体膜片(3)、引线板(4)以及用于装配弹性体膜片(3)和引线板(4)的装配机构(5)，其特征在于：所述罩壳(2)螺纹连接于基座(1)的底端，所述罩壳(2)与基座(1)的连接端之间通过O型密封圈(10)密封，所述基座(1)的中部设有感压通道(6)，所述装配机构(5)是由装配板(501)、压环(502)、盖板(503)和锁固螺栓(504)组成，所述弹性体膜片(3)嵌装于装配板(501)内部，所述压环(502)搭接于装配板(501)上并紧压弹性体膜片(3)，所述装配板(501)通过压环(502)与盖板(503)连接，所述引线板(4)通过锁固螺栓(504)依次穿插盖板(503)和压环(502)紧固于基座(1)上，所述装配板(501)与基座(1)内壁之间设有密封填充槽，密封填充槽内填充有密封绝缘材料(7)，所述弹性体膜片(3)背面的应变电阻焊盘上通过硅铝丝与引线板(4)上的焊盘连接，所述基座(1)的内部由弹性体膜片(3)上下分隔为连通感压通道(6)的直通腔(8)以及与罩壳(2)配合构成的真空腔(9)，所述罩壳(2)的中部穿插有焊针(11)，所述焊针(11)与引线板(4)的焊盘之间通过导线连接，所述罩壳(2)的内壁内部设有与焊针(11)相适配的锥形密封圈(12)，所述锥形密封圈(12)通过压盖(13)紧压于罩壳(2)的内壁内部。


2.根据权利要求1所述的一种应变式压力传感器的绝压封装结构，其特征在于：所述基座(1)的底部设有下连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：余德丰，杨成，王政平，
申请(专利权)人：上海域丰传感仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31