电容式压力测量单元和电容式压力测量装置的运行方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于电容式压力测量装置的运行方法。为了实现对外部信号源的不敏感性，本发明专利技术提出连续地改变压力测量装置的工作频率，从而避免与外部(干扰)频率形成共振。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电容式压力测量单元和电容式压力测量装置的运行方法
本专利技术涉及根据权利要求1所述的电容式压力测量单元的运行方法和根据权利要求3所述的电容式压力测量装置的运行方法。
技术介绍
电容式压力传感器或电容式压力测量装置已在许多工业领域被用于压力测量。它们通常具有：作为过程压力(Prozessdruck)的传感器的、陶瓷的压力测量单元和用于信号处理的计算电子装置。电容式压力测量单元由陶瓷的基体和膜(Membran)组成，在基体和膜之间布置有玻璃焊环。在基体和膜之间由此形成的空腔实现了膜的由于压力影响而产生的纵向可移动性。在膜的下侧和在基体的相对的上侧上各设置有电极，这些电极一起形成测量电容器。压力作用会导致膜的变形，从而导致测量电容器的电容变化。在计算单元的帮助下，电容变化被检测到并转换为压力测量值。一般地，这些压力传感器用于过程的监视或过程的控制。因此，它们通常与更高级别的控制单元(SPS)连接。从文献DE19851506C1中已知一种电容式压力测量装置。在该电容式压力测量装置中，压力测量值由两个电容值(测量电容器的电容值和参本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式压力测量装置的运行方法，/n其中，所述压力测量装置具有压力测量单元(10)，所述压力测量单元(10)具有测量电容器(C

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180307 DE 102018105234.01.一种电容式压力测量装置的运行方法，
其中，所述压力测量装置具有压力测量单元(10)，所述压力测量单元(10)具有测量电容器(CM)和参考电容器(CR)，所述测量电容器(CM)和所述参考电容器(CR)被施加交替的方波信号形式的内部激励电压UE0，从所述测量电容器(CM)和所述参考电容器(CR)的电容值获得压力测量值p，
其中，所述激励电压UE0经由所述测量电容器(CM)通过积分被转换为中间信号COM，以及
其中，所述中间信号COM被馈送到比较器-振荡器(SG)，由此最终生成所述激励电压UE0，
其特征在于，所述比较器-振荡器(SG)的至少一个阈值被改变，使得所述激励电压UE0具有变化的频率。


2.根据权利要求1所述的方法，
其特征在于，所述比较器-振荡器(SG)控制方波发生器(RG)。


3.根据权利要求1至2中的任一项所述的方法，
其特征在于，所述频率的所述变化根据预定规定的模式进行或随机进行。


4.根据权利要求1至3中的任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：海因茨·瓦尔特，曼弗雷德·毛鲁斯，彼得·金贝尔，亚历山大·奥佩，
申请(专利权)人：IFM电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE