【技术实现步骤摘要】
提高半导体器件测试过程安全性的装置
本技术涉及一种安全装置，尤其是一种提高半导体器件测试过程安全性的装置，属于半导体器件测试防护的
技术介绍
在自动化检测设备中，都会具备安全门结构，安全门一般为透明且具备较高强度的材质，门两侧会有检测装置(如光幕，具体应用在此不赘述)，其目的是保证设备在运行过程中，人与设备的安全隔离，方便观察内部情况，同时避免安全门在下落过程中对操作人员造成伤害(如夹手等安全问题)。半导体器件的自动检测设备中也同样存在上述的安全问题，待测样品一般是由机械手或者人来放置到设备中的检测区域(类似抽屉的一种装置)，此检测区域为自动进出方式(放置样品时，此区域会探出设备外一部分，方便放置样品)。放置完样品开始测试之前，此区域会自动退回到设备内，然后安全门关闭，开始检测，检测完成后，安全门打开，检测区域自动探出设备外，更换下一个待测样品，重复上述动作。此过程虽然安全可靠，但是效率低下，尤其是对大批量样品进行测试时尤为明显。不断提高检测效率也是当下检测设备需要发展的一个方向。基于上述的说明，设...
【技术保护点】
1.一种提高半导体器件测试过程安全性的装置，包括设备主体(1)、用于放置待检样品的样品放置抽屉(6)以及能驱动样品放置抽屉(6)在设备主体(1)内往复运动的抽屉运动驱动机构；其特征是：/n所述样品放置抽屉(6)包括抽屉门，所述抽屉门包括前挡板(18)以及位于所述前挡板(18)内侧的内挡板(19)，所述内挡板(19)通过挡板连接机构与前挡板(18)适配连接，内挡板(19)与前挡板(18)间具有允许内挡板(19)活动的挡板间隙(30)；在前挡板(18)的内侧面设置能与内挡板(19)适配连接的内挡板微动检测机构，所述内挡板微动检测机构与抽屉运动驱动机构电连接；/n在抽屉运动驱动机...
【技术特征摘要】
1.一种提高半导体器件测试过程安全性的装置，包括设备主体(1)、用于放置待检样品的样品放置抽屉(6)以及能驱动样品放置抽屉(6)在设备主体(1)内往复运动的抽屉运动驱动机构；其特征是：
所述样品放置抽屉(6)包括抽屉门，所述抽屉门包括前挡板(18)以及位于所述前挡板(18)内侧的内挡板(19)，所述内挡板(19)通过挡板连接机构与前挡板(18)适配连接，内挡板(19)与前挡板(18)间具有允许内挡板(19)活动的挡板间隙(30)；在前挡板(18)的内侧面设置能与内挡板(19)适配连接的内挡板微动检测机构，所述内挡板微动检测机构与抽屉运动驱动机构电连接；
在抽屉运动驱动机构驱动样品放置抽屉(6)进入设备主体(1)过程中，通过内挡板微动检测机构检测到内挡板(19)向靠近前挡板(18)方向活动时，内挡板微动检测机构能向抽屉运动驱动机构传输内挡板微动信息，抽屉运动驱动机构根据所接收的内挡板微动信息能立即停止驱动样品放置抽屉(6)进入设备主体(1)内。
2.根据权利要求1所述的提高半导体器件测试过程安全性的装置，其特征是：所述挡板连接机构包括若干通丝螺套(29)以及能与通丝螺套(29)一一对应连接的挡板紧固螺丝(21)，所述挡板紧固螺丝(21)的头端能进入通丝螺套(29)内且能与所进入的通丝螺套(29)紧固连接；
所述通丝螺套(29)固定在前挡板(18)的内侧，挡板紧固螺丝(21)穿过内挡板(19)上的弹簧衬套(22)后能与相应的通丝螺套(29)适配连接，在每个通丝螺套(29)上套设螺套弹簧(27)，利用挡板紧固螺丝(21)与弹簧衬套(22)配合能使得螺套弹簧(27)处于压缩状态。
3.根据权利要求1所述的提高半导体器件测试过程安全性的装置，其特征是：所述内挡板微动检测机构包括内挡板微动开关(25)，所述内挡板微动开关(25)通过开关支架(24)安装于前挡板(18)的内侧；内挡板微动开关(25)的微动开关杠杆(26)能与内挡板(19)的内壁接触；
挡板间隙(30)与所述内挡板微动开关(25)的动作行程适配，内挡板(19)向靠近前挡板(18)方向运动时，内挡板(19)通过挤压微动开关杠杆(26)能触发所述内挡板微动开关(25)，以使得内挡板微动开关(25)能向抽屉运动驱动机构传输内挡板微动信息。
4.根据权利要求1所述的提高半导体器件测试过程安全性的装置，其特征是：样品放置抽屉(6)进入设备主体(1)内时，样品放置抽屉(6)的抽屉门的外周与所述设备主体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙元鹏，张文亮，
申请(专利权)人：山东阅芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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