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本实用新型涉及一种提高半导体器件测试过程安全性的装置，其包括设备主体、样品放置抽屉以及抽屉运动驱动机构；内挡板通过挡板连接机构与前挡板适配连接；在前挡板的内侧面设置能与内挡板适配连接的内挡板微动检测机构，所述内挡板微动检测机构与抽屉运动驱动...
该专利属于山东阅芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东阅芯电子科技有限公司授权不得商用。

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