基于聚焦离子束技术的微透镜与光纤集成方法技术

本发明专利技术提出的聚焦离子束技术实现微透镜与光纤集成方法是直接将设计的微透镜几何参数输入计算机控制聚焦至１０纳米的离子束斑按照一定的轨迹逐点写入加工或逐层材料添加，属于一步制作方法，避免了以往报道的激光直接写入法、电子束扫描直接写入法以及光学刻划方法中必不可少的从光致抗蚀剂到基底的图形转移工序，减少了累积制作误差，从而大大提高了微光学元件制作过程中的控制精度。本发明专利技术可一步制成集成一体的透镜光纤，对研制和开发微光电系统、以及分析监测仪器小型化和紧凑化将具有重要的应用价值。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种采用聚焦离子束一步制作技术实现微光学元件与光导纤维集成一体化的新方法，即。
技术介绍
“光纤透镜”在光学测量、环境监测、生化分析等领域有着愈来愈广泛的应用，尤其在近年来备受青睐的微光学系统研制和开发中起着至关重要的作用。早在80年代初，美国Crawford Hill实验室的G.Eisenstein等就用化学腐蚀法在单膜光纤端部的芯部制作出微型锥透镜(G.Eisenstein，and D.Vitello，“Chemically etched conical microlenses for coupling single-modelasers into single-mode fibers.”Applied Optics21(19)，3470-3474(1982))。在此前后的近30年中，电弧熔化法、激光加工法、光致聚合法等方法相继问世(D.Kato，“Light coupling from a strip-geometry GaAsdiode laser into an optical fiber with a spherical end.”J.Appl.Phys本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于聚焦离子束技术的微透镜与光纤集成方法，可通过以下主要步骤实现：（１）根据系统要求设计出用于集成的微型光学元件；（２）将设计的连续曲面的数据离散化，并根据离散化的数据、定标数据、以及制作过程参数编写出机器自动运行的控制程序 ；（３）设置机器运行的初始参数以及运行模式、并运行步骤（２）中的设计程序；（４）采用干涉仪进行元件测试；（５）微透镜－光纤的性能测试。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：付永启，杜春雷，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]