【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光学元件，该光学元件是一种诸如微透镜、微透镜阵列或衍射光栅的光学元件，具有由玻璃、石英等制成的基底和树脂层，该树脂层形成在该基底的至少一个表面上并形成诸如微透镜、微透镜阵列或衍射光栅的光学元件。
技术介绍
用于制造显微光学元件的方法根据光学元件使用的材料以及加工的形状而改变。常规地，球面透镜或非球面透镜通过对玻璃进行研磨或抛光而制造。但在这种情况下生产率很低，加工的形状也非常有限。因而近来开始采用通过车刀直接切割的方法以及利用光刻和蚀刻技术结合的方法作为生产衍射光栅中显微形状等的方法。在前一种情形中，可以实现以几十微米的量级进行形状加工，在后一种情形中可以实现根据步进式光刻机的光学限度进行亚微米的形状加工。特别是，通过利用光刻技术在石英上形成抗蚀图、再通过蚀刻切割石英来制造高性能的显微光学元件。下面将简要描述该工艺。石英的表面均匀地涂覆抗蚀剂，并制备一种其上设置了所需图案的分划板。在利用步进式光刻机将该所需图案投影到抗蚀剂上之后，将基底浸没在显影液中，以便去除抗蚀剂的不必要的部分。此抗蚀剂上图案的形成也可以利用通过镀铬掩模的曝光实现，或是利用...
【技术保护点】
一种光学元件，包括基底和形成在该基底的至少一个表面上的树脂层，其中该树脂层具有厚部和薄部，在该厚部中光学元件形成在该树脂层的内侧，该薄部形成在包围该厚部的区域中。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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