1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅制造技术

技术编号:2671497 阅读:192 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种用于光纤通信的1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为692-710纳米、刻蚀深度为1.985-2.005微米,光栅的占空比为1/2。该光栅可以将TE、TM两种偏振模式相互垂直的光分为不同的方向,实现0级和1级衍射光消光比均大于100,TE偏振光的0级衍射效率和TM偏振光的1级衍射效率分别高于99.02%和99.27%。本发明专利技术光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成,可以低成本地大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤通信波段偏振分束光栅器件,特别是一种背入射式(或浸入式)高密度深刻蚀的1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅
技术介绍
信息时代随着科学技术的迅猛发展,人类社会正向信息社会演变。信息传送量正以一种加速度的形式膨胀,这就要求传输网络越来越大。现有的以电为基本传输介质的物理层而构筑的网络已到了其极限,带宽匮乏、速度慢、灵活性差。随着“电子通信时代”向“信息通信时代”的转化,人们要求在任何地方、任何时间以任何方式随时都可以获得大量信息。这些要求导致了语音、图像、数据等信息的急剧增长,尤其是Internet的迅速发展,使得人们对通信网容量的需求越来越大。用光波作为载波,它的极高的时间、空间带宽积,高度的并行性和无干扰性,在信息高速传送和处理时,具有光损耗小、信号无畸变、无时钟歪斜等优点。光纤通信具有大容量、低损耗、远距离传输等优点,是满足快速增长带宽需求的重要技术手段。空间光交换网络被认为是处理速度最快、传输率最快、最理想的空间光子交换网络系统。为了增加带宽和减少不同通道间的串扰要用到不同的偏振态。偏振分束器是光交换网络中基本的元件,它可以将光分成两束偏振模式相互垂直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光纤通信的1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为692-710纳米、刻蚀深度为1.985-2.005微米,光栅的占空比为1/2。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周常河王博
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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