一种硅片加工用均胶机制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座。通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工用均胶机
本技术涉及半导体加工
，具体为一种硅片加工用均胶机。
技术介绍
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，主要将基片上涂覆一层光刻胶。现有均胶机的工作原理为，将硅片防止在均胶机的加工台上，然后用胶枪，使胶水滴落在基片上，然后启动真空泵将均胶机内部的空气抽出，然后加工台带动硅片旋转，利用离心力的作用，将胶水均匀涂覆在硅片上，现有硅片在安装时，大多是直接放置在加工台上，然后再由加工台上的吸气管，将硅片吸附在加工台上，吸气管与真空泵相连，当硅片在旋转时，部分多余的胶水会流至硅片的底部，胶水受到重力的影响，再加上真空泵始终处于工作状态，产生的吸力，也会将部分胶水通过吸气管吸附至泵体内，导致泵体内含有大量杂质，同时胶水的吸入，也会造成吸气管堵塞，导致均胶机内部的空气无法排出，且吸气管堵塞后，也无法将硅片牢牢吸附在加工台上，导致硅片在旋转时，无法均匀做圆周运动，偏移加工台的轴心，更严重时，将会导致硅片从加工台上直接甩出的，造成硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片加工用均胶机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的侧面转动连接有转动杆(2)，所述转动杆(2)的端部连接有齿轮组(3)，所述齿轮组(3)的数量为两个，另一个所述齿轮组(3)的内壁螺纹连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的底部转动连接有转动筒(5)，所述转动筒(5)的内壁固定安装有定位座(6)，所述定位座(6)内转动连接有定位杆(7)，所述定位杆(7)上安装有定位块(8)，所述定位块(8)的端部安装有滑动块(9)，所述滑动块(9)上转动连接有滑动杆(10)，所述滑动杆(10)的端部贯穿并延伸至机体(1)的外部，所述螺纹杆(4)的内壁固定连接有充气筒(11)，所述充气筒(11)...

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工用均胶机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的侧面转动连接有转动杆(2)，所述转动杆(2)的端部连接有齿轮组(3)，所述齿轮组(3)的数量为两个，另一个所述齿轮组(3)的内壁螺纹连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的底部转动连接有转动筒(5)，所述转动筒(5)的内壁固定安装有定位座(6)，所述定位座(6)内转动连接有定位杆(7)，所述定位杆(7)上安装有定位块(8)，所述定位块(8)的端部安装有滑动块(9)，所述滑动块(9)上转动连接有滑动杆(10)，所述滑动杆(10)的端部贯穿并延伸至机体(1)的外部，所述螺纹杆(4)的内壁固定连接有充气筒(11)，所述充气筒(11)上滑动安装有竖杆(12)，所述竖杆(12)的端部固定连接有活塞(13)，所述活塞(13)的侧面与充气筒(11)的底壁之间安装有弹簧(14)，所述充气筒(11)的端部连通有吸盘(15)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用均胶机，其特征在于：所述机体(1)的两侧固定安装有支撑架(16...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建章，
申请(专利权)人：徐州野马锂电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32