一种新型供胶系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构，控制器，计算机，其中微流道平板被配置有微流道网格和多个汇胶槽。通过微流道网格，同时在所有汇胶槽形成所需胶量的微型胶水液滴，所有微型胶水液滴同时与第一晶圆接触，并转移到第一晶圆表面，完成对整张晶圆的点胶，生产效率得到了极大提升。

【技术实现步骤摘要】
一种新型供胶系统
本技术涉及一种新型供胶系统，具体涉及一种在晶圆级光学中实现晶圆级点胶的供胶系统。
技术介绍
光学产业和半导体产业，历来是独立发展的两大产业，是国防民生的基础产业。随着光学产品在消费电子中的应用越来越普遍，消费电子市场对光学产品提出了越来越严格的新要求，比如光学结构越来越紧凑，越来越多面型复杂的阵列化设计。传统的光学加工手段已经无法满足新的光学产品加工需求，借鉴半导体设备和技术加工光学的晶圆级光学产业便应运而生，并逐步发展成熟。在晶圆级光学加工中，需要在晶圆内每个单元结构处安放微量胶水，用于后续工艺，如光学结构的固化成型或晶圆键合。在先技术的点胶机，只有一个或一定数量的点胶头，每次只能完成晶圆内局部范围的点胶，需要多次移动位置，才能完成整张晶圆点胶，生产效率低，成本高昂，更重要的是，点胶生产时间往往超出了晶圆级光学的工艺窗口时间，从而导致了晶圆级光学后续工艺失效。
技术实现思路
为了解决先在技术中存在的问题，本技术提供一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构，控制器，计算机；其特征在于，/n微流道平板，包括微流道网格和N个汇胶槽，N为大于等于1的整数，微流道网格与汇胶槽相通；/n微流道平板和第一晶圆上分别设有Q个对应的定位标记，Q为大于等于1的整数；/n微流道平板吸盘，用于固定保持微流道平板；/n第一晶圆吸盘，用于固定保持第一晶圆；/n胶水驱动单元，配置为分别与胶水存储单元和微流道平板相通，进而驱动胶水存储单元中的胶水，通过胶水驱动单元流进微流道平板，进一步的，经过微流道网格汇集到汇胶槽，从而在汇胶槽形成微型胶水液滴；/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构，控制器，计算机；其特征在于，
微流道平板，包括微流道网格和N个汇胶槽，N为大于等于1的整数，微流道网格与汇胶槽相通；
微流道平板和第一晶圆上分别设有Q个对应的定位标记，Q为大于等于1的整数；
微流道平板吸盘，用于固定保持微流道平板；
第一晶圆吸盘，用于固定保持第一晶圆；
胶水驱动单元，配置为分别与胶水存储单元和微流道平板相通，进而驱动胶水存储单元中的胶水，通过胶水驱动单元流进微流道平板，进一步的，经过微流道网格汇集到汇胶槽，从而在汇胶槽形成微型胶水...

【专利技术属性】
技术研发人员：李凡月，
申请(专利权)人：拾斛科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32