下载一种新型供胶系统的技术资料

文档序号:26700607

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本实用新型提供一种新型供胶系统,包括:微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆,第一晶圆吸盘,胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构,控制器,计算机,其中微流道平板被配置有微流道网格和多个汇胶槽。通过微流道网格,同时在所有汇胶槽形成所需...
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