一种常压射频低温等离子体装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于等离子体技术领域，涉及一种常压射频低温等离子体装置，包括自动点火部分和等离子体放电主体；自动点火部分包括点火元件和移动装置；等离子体放电主体包括用于射频的阳极、阴极以及介质管，阴极和阳极设置在介质管上；介质管上设有进气口，点火元件固定在移动装置上，移动装置带动点火元件进入或退出介质管。本发明专利技术能够在保持介质管中空的情况下，利用自动点火结构降低击穿电压，从而在常压条件下产生低温等离子体，该自动点火结构在点火成功后，移出等离子体放电区域，并且操作简单易行，可使用低成本工作惰性气体，并在一定程度上保护电极不受腐蚀，避免金属杂质引入，降低等离子体装置损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种常压射频低温等离子体装置
本专利技术属于等离子体
，涉及一种常压射频低温等离子体装置。
技术介绍
低温等离子体是一种物理和化学作用相结合的气态处理技术，其本身具有的低污染、高效率等环保的特点，广泛应用在材料表面处理上。而大气压低温等离子体属于非平衡等离子体，由于其不受限于真空腔体尺寸空间限制，十分适用于低成本、高效率的生产线加工。在上个世纪90年代，就有报道以射频为驱动源，使用氦气为工作气体，在常压下将金属电极内置在介质管中作为阳极，介质管外包裹金属电极作为阴极，这种针-环装置结构，内置金属电极容易受到腐蚀，长期影响放电效果，虽然采用氦气放电产生的等离子体气体温度相对较低，但氦气价格昂贵，并不适合大规模生产，而氩气等惰性气体产生的等离子体气体温度较高，需要对电极做冷却处理。Foest等人在2005年提出的双环结构，在毛细管外分别包裹金属阳极和金属阴极，因为毛细管直径较小，气体间隙相对较小，工作气体在流动状态下击穿和维持电压较低，所以工作气体氦气通过介质管间隙被击穿，产生等离子体，虽无内置电极，但采用毛细管为介质管，且由于介质管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种常压射频低温等离子体装置，其特征在于：/n包括自动点火部分和等离子体放电主体；/n所述自动点火部分包括点火元件(3)和移动装置(1)；/n所述等离子体放电主体包括用于射频的阳极(6)、阴极(7)以及介质管(4)，所述阴极(7)和阳极(6)设置在介质管(4)上；介质管(4)上设有进气口(5)，所述点火元件(3)固定在移动装置(1)上，移动装置(1)带动点火元件(3)进入或退出介质管(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种常压射频低温等离子体装置，其特征在于：
包括自动点火部分和等离子体放电主体；
所述自动点火部分包括点火元件(3)和移动装置(1)；
所述等离子体放电主体包括用于射频的阳极(6)、阴极(7)以及介质管(4)，所述阴极(7)和阳极(6)设置在介质管(4)上；介质管(4)上设有进气口(5)，所述点火元件(3)固定在移动装置(1)上，移动装置(1)带动点火元件(3)进入或退出介质管(4)。


2.根据权利要求1所述的一种常压射频低温等离子体装置，其特征在于：
所述介质管(4)包括等离子体出口和点火元件进口，所述进气口设置在介质管(4)的侧面。


3.根据权利要求2所述的一种常压射频低温等离子体装置，其特征在于：
所述点火元件进口上设有密封件(8)。


4.根据权利要求1所述的一种常压射频低温等离子体装置，其特征在于：
所述阳极(6)和阴极(7)均为介质管(4)外围包裹的环状电极，阳极(6)为射频输出端，阴极(7)为接地端。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王裕，江彪，高明，张永亮，陆星铭，黄逸凡，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44