【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体处理机
本专利技术涉及进行利用等离子体化后的气体而进行的处理的等离子体处理机。
技术介绍
等离子体处理机如例如下述专利文献记载的那样，具备放出等离子体化后的气体即等离子体化气体的等离子体头，并构成为将该等离子体化气体向工件的表面照射。从气体供给装置向等离子体头供给成为等离子体化气体的来源的反应气体、用于运载该反应气体的载气。等离子体头具备一对电极，向这些电极之间施加电压，使在这些电极之间通过的反应气体等离子体化。该等离子体化后的气体及载气从等离子体头的喷嘴放出。在先技术文献专利文献1：日本特开2012-129356号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题上述那样的等离子体处理机为开发中途，通过实施某些改良而能够提高实用性。本专利技术鉴于这样的实际情况而作出，课题在于提供一种高实用性的等离子体照射装置。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术的等离子体处理机是进行基于等离子体化后的气体的处理的等离子体处理机，上述等离子体处理机具备：等离子体头，...
【技术保护点】
1.一种等离子体处理机，进行利用等离子体化后的气体而进行的处理，所述等离子体处理机具备：/n等离子体头，在被施加了电压的电极之间使气体等离子体化，从喷嘴放出该等离子体化后的气体；/n气体供给装置，向等离子体头供给包含要进行等离子体化的气体在内的气体；/n压力检测器，检测从气体供给装置供给的气体的压力；及/n控制装置，负责该等离子体处理机的控制，/n所述控制装置构成为，基于在向所述电极施加了电压之后由所述压力检测器检测到的气体的压力即施加电压后气体压力，来容许处理的开始。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子体处理机，进行利用等离子体化后的气体而进行的处理，所述等离子体处理机具备：
等离子体头，在被施加了电压的电极之间使气体等离子体化，从喷嘴放出该等离子体化后的气体；
气体供给装置，向等离子体头供给包含要进行等离子体化的气体在内的气体；
压力检测器，检测从气体供给装置供给的气体的压力；及
控制装置，负责该等离子体处理机的控制，
所述控制装置构成为，基于在向所述电极施加了电压之后由所述压力检测器检测到的气体的压力即施加电压后气体压力，来容许处理的开始。
2.根据权利要求1所述的等离子体处理机，其中，
所述控制装置构成为，基于所述施加电压后气体压力而识别为所述电极间的放电状态适当，并基于该识别来容许处理的开始。
3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理机，其中，
所述控制装置构成为以所述施加电压后气体压力达到了设定压力为条件而容许处理的开始。
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