【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳米光波导集成领域，特别是涉及一种带有螺旋弯曲波导的阵列波导光栅。
技术介绍
Si和SiO2的高折射差(2.0)为实现纳米光波导和超小尺度的集成光波导器件提供了可能性，已有不少相关研究的报道。基于纳米波导的超小尺度光器件越来越具有吸引力。阵列波导光栅(AWG)是一种最具代表性的集成型光波导器件，具有优越的性能和广泛的应用，是波长路由器、多波长接收器、多波长激光器、上下路插分复用器等光通信模块中的核心器件。阵列波导光栅不仅可以用作波分(解)复用器件，还可作为波长路由器、梳状滤波器等。对于AWG波长路由器和梳状滤波器，有ΔλFSR＝NchΔλch，其中ΔλFSR为自由频谱范围，Δλch为通道间隔，Nch为通道数。此时ΔλFSR通常较小，根据m＝λc/(ΔλFSRNg/ng)，故而衍射级次很大。相应地，阵列波导光栅相邻波导长度差也要求很大。例如，对于Δλch＝0.4nm、ΔλFSR＝0.8nm的梳状滤波器来说，其衍射级次接近103(对应的长度差ΔL达数百微米)。此时，若采用传统的阵列波导光栅结构，相邻阵列波导间距要非常大(几百微米)，远远大于硅纳米光波...
【技术保护点】
一种带有螺旋结构的阵列波导光栅，其特征在于：包括与输入波导（１）连接的输入自由传播区域（２）以及与输出波导（１３）连接的输出自由传播区域（１２），在输入自由传播区域（２）和输出自由传播区域（１２）间连接有波导阵列，每条阵列波导包含了四段直波导（３、５、９、１１）、两段弯曲波导（４、１０）和螺旋弯曲波导（１４）；第一直波导（３）的一端和输入自由传播区域（２）的输出端相连，第一直波导（３）的另一端依次经第一弯曲波导（４）、第二直波导（５）、螺旋弯曲波导（１４）、第三直波导（９）、第二弯曲波导（１０）与第四直波导（１１）的一端相连，第四直波导（１１）的另一端与输出自由传播区域（１２）的输入端相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戴道锌，何赛灵，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]
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