无热阵列波导光栅制造技术

本发明专利技术提供一种无热阵列波导光栅，在阵列波导中，相邻的阵列波导具有不同的波导长度，对应的相邻的阵列波导具有不同的波导宽度，且阵列波导的波导宽度随阵列波导的波导长度的增加而减小，通过改变阵列波导的波导宽度，实现阵列波导光栅的无热化，无需外部供能，就能维持较好的温度稳定性，是一种无源器件，可以极大的降低系统维护成本；设计和工艺简单，无需后处理工艺，能适应大规模量产及商业化，且性能稳定；具有良好的工艺兼容，可采用标准的CMOS加工；能够实现多通道数的波分复用。本发明专利技术的无热阵列波导光栅在整体上保证相邻阵列波导的光程差固定的前提下，可实现中心波长温度不敏感。

【技术实现步骤摘要】
无热阵列波导光栅
本专利技术属于光通信与集成光学领域，涉及一种无热阵列波导光栅。
技术介绍
随着5G互联网的发展，人们对数据传输的需求量越来越大。光通信已经成为目前网络信息传输的主要方法，但是近年来数据传输需求量增长非常快。为了提升网络传输带宽、降低网络数据传输成本，波分复用系统已经成为提升网络带宽的主要解决方案。目前，实现波分复用的方法主要有两种：一种是基于几何光学透镜系统制作的波分复用器件，另一种是基于集成光学制作的波分复用器件。其中，基于几何光学透镜系统制作的波分复用器件，虽然容易实现，但是具有器件尺寸大、系统稳定性差等缺点，而基于集成光学制作的波分复用器件，则具有器件尺寸小、性能稳定性好、成本低廉的优点，因此基于集成光学制作的波分复用器件更适合大批量自动化生产。基于集成光学制作的波分复用器件主要为阵列波导光栅(ArrayedwaveguidegratingAWG)。其中，基于集成光学制作的波分复用器件中，由于材料本身具有热光效应，材料的折射率会随着温度的变化而变化，因此使得AWG通常具有温度敏感性，中心波长会随温度的变化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无热阵列波导光栅，其特征在于，所述无热阵列波导光栅包括：/n输入平板波导；/n输出平板波导；/n阵列波导，所述阵列波导连接所述输入平板波导及输出平板波导，且相邻的所述阵列波导具有不同的波导长度，对应的相邻的所述阵列波导具有不同的波导宽度，且所述阵列波导的波导宽度随所述阵列波导的波导长度的增加而减小；/n输入波导，所述输入波导与所述输入平板波导相连接；/n输出波导，所述输出波导与所述输出平板波导相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种无热阵列波导光栅，其特征在于，所述无热阵列波导光栅包括：
输入平板波导；
输出平板波导；
阵列波导，所述阵列波导连接所述输入平板波导及输出平板波导，且相邻的所述阵列波导具有不同的波导长度，对应的相邻的所述阵列波导具有不同的波导宽度，且所述阵列波导的波导宽度随所述阵列波导的波导长度的增加而减小；
输入波导，所述输入波导与所述输入平板波导相连接；
输出波导，所述输出波导与所述输出平板波导相连接。


2.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于：所述阵列波导包括矩形波导、脊型波导及离子扩散型波导中的一种。


3.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于：所述阵列波导的形貌包括马鞍形或三段式形貌。


4.根据权利要求3所述的无热阵列波导光栅，其特征在于：当所述阵列波导的形貌采用马鞍形时，所述阵列波导包括在弯曲传输部采用单模矩形波导及在直线传输部采用脊型直波导中的一种或组合。


5.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于：还包括锥形波导，所述锥形波导包括位于所述输入平板波导与所述阵列波导之间以及位于所述输出平板波导与所述阵列波导之间中的一种或组合。


6.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于：所述无热...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨忠华，李智慧，何来胜，梁宇鑫，崔乃迪，
申请(专利权)人：联合微电子中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50