下载无热阵列波导光栅的技术资料

文档序号:26688731

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本发明提供一种无热阵列波导光栅,在阵列波导中,相邻的阵列波导具有不同的波导长度,对应的相邻的阵列波导具有不同的波导宽度,且阵列波导的波导宽度随阵列波导的波导长度的增加而减小,通过改变阵列波导的波导宽度,实现阵列波导光栅的无热化,无需外部供能...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

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