一种二维纳米定位平台制造技术

本发明专利技术公开了一种二维纳米定位平台，属于影像级原子力显微镜定位控制领域，包括：平台基身、运动平台和驱动装置，运动平台设置于平台基身的中心位置，用于在驱动信号的作用下在平台基身上进行位移运动；驱动装置分别与平台基身和运动平台连接，设有依次对应连接的四个方向的驱动器槽、四个方向的驱动支链、四个方向的连接支链和四个方向的传动支链组。驱动器槽中驱动器输出的驱动信号，经驱动支链、连接支链输出至传动支链组，并带动运动平台进行二维平移运动。本申请平台以运动平台为中心呈对称分布，各方向传动支链组采用三平行轴对称支链布局，能够有效降低耦合误差；一体化柔顺机构设计，具有高刚度无摩擦等特性，能够提高平台的固有频率。

【技术实现步骤摘要】
一种二维纳米定位平台
本专利技术属于影像级原子力显微镜定位控制领域，更具体地，涉及一种二维纳米定位平台。
技术介绍
在新一代信息技术产业领域中需开发一批精密、高速的基础制造装备，明确了纳米测量的重要性。AFM通过检测样品表面和微型力敏感元件之间的原子间相互作用力来获得纳米级分辨率的表面形貌。自从AFM被专利技术以来，其探测技术被广泛应用到纳米测量、纳米印刷等行业中，已成为研究生物医学样品和生物大分子的主要工具之一。因此，未来AFM技术的发展趋势是实现高速的影像级扫描，而高速高精的纳米定位便成为关键之一。然而，随着近年来实际应用对AFM定位速度的要求日益严苛，现有的商用AFM速度已经无法满足需求。例如，典型的高分辨率AFM图像需要几十秒扫描生成，这使得毫秒级的动态视觉效果观察变得不可能。一般的影像(如每秒12帧)扫描，现有的商用AFM的栅格扫描速度也难以达到。
技术实现思路
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本专利技术提供了一种二维纳米定位平台，其目的在于依靠柔性铰链的刚度等特性及并联结构的对称性，实现二维纳米本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二维纳米定位平台，其特征在于，包括：/n平台基身；/n运动平台，设置于所述平台基身的上表面的中心位置，用于在驱动信号的作用下在所述平台基身上进行位移运动；/n驱动装置，分别与所述平台基身和运动平台连接，设有：/n四个方向的驱动器槽，设置于所述平台基身上，包括：X轴负向驱动器槽、X轴正向驱动器槽、Y轴负向驱动器槽和Y轴正向驱动器槽；每个方向的所述驱动器槽用于安装驱动器并接收所述驱动器输出的驱动信号；/n四个方向的驱动支链，分别与四个方向的所述驱动器槽一一对应连接，每个方向上所述驱动支链用于传输所属方向上对应的驱动信号；/n四个方向的连接支链，与所述平台基身连接，且每个方向上的所述连接支链...

【技术特征摘要】
1.一种二维纳米定位平台，其特征在于，包括：
平台基身；
运动平台，设置于所述平台基身的上表面的中心位置，用于在驱动信号的作用下在所述平台基身上进行位移运动；
驱动装置，分别与所述平台基身和运动平台连接，设有：
四个方向的驱动器槽，设置于所述平台基身上，包括：X轴负向驱动器槽、X轴正向驱动器槽、Y轴负向驱动器槽和Y轴正向驱动器槽；每个方向的所述驱动器槽用于安装驱动器并接收所述驱动器输出的驱动信号；
四个方向的驱动支链，分别与四个方向的所述驱动器槽一一对应连接，每个方向上所述驱动支链用于传输所属方向上对应的驱动信号；
四个方向的连接支链，与所述平台基身连接，且每个方向上的所述连接支链与所属方向上的所述驱动支链连接，用于传输所属方向上对应的驱动信号；
四个方向的传动支链组，每个方向传动支链组分别与所述运动平台和所属方向的所述连接支链连接，每个方向传动支链组包括三个平行设置的传动支链，三个平行设置的传动支链均用于在所述驱动信号的作用下运动并带动所述运动平台进行所述位移运动。


2.如权利要求1所述的二维纳米定位平台，其特征在于，每个方向上三个平行设置的传动支链分别是：第一传动支链、第二传动支链和第三传动支链，所述第一传动支链和所述第三传动支链关于所述第二传动支链轴对称。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海涛，王志岳，陈智勇，易明磊，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42