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一种二维纳米定位平台制造技术
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下载一种二维纳米定位平台的技术资料
文档序号:26688337
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本发明公开了一种二维纳米定位平台,属于影像级原子力显微镜定位控制领域,包括:平台基身、运动平台和驱动装置,运动平台设置于平台基身的中心位置,用于在驱动信号的作用下在平台基身上进行位移运动;驱动装置分别与平台基身和运动平台连接,设有依次对应连...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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