一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装制造技术

一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装，包括：底座、楔形条和压条；底座上开设有用于容纳样品及放置于样品的侧方的楔形条的具有倾斜面的凹槽；楔形条具有与倾斜面的倾斜角度相同的楔形面和用于与样品的表面贴合的侧面；压条放置于样品的上表面。

【技术实现步骤摘要】
一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装
本技术涉及工程陶瓷材料制备
，具体地，涉及一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装。
技术介绍
集成电路制造高端装备被少数发达国家所垄断，且对我国施行长期的技术封锁，使得我国的集成电路产业发展滞后，严重危害国家的战略安全，因此开展集成电路关键装备国产化势在必行。以高端光刻机为代表的集成电路制造装备中，为实现高制程精度，需广泛采用具有良好的结构稳定性、热稳定性和尺寸精度的陶瓷零部件，例如导轨、冷板、吸盘、气浮板等。碳化硅陶瓷因为具有高模量、高比刚度、高热导率及高稳定性等，被广泛应用于微电子工业、医药化工、航空航天等领域。因碳化硅陶瓷导轨具有高的长径比和散布的固定孔位，在烧结过程中产生非对称的收缩应力，从而导致碳化硅陶瓷导轨的弯曲或变形。
技术实现思路
技术要解决的问题：鉴于上述问题，本技术的目的在于提供一种能制备出高直线度和高形位精度的长条状陶瓷部件的长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装。解决问题的技术手段：为解决上述问题，本技术提供一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装，其特征在于，/n包括：/n底座、楔形条和压条；/n所述底座上开设有用于容纳样品及放置于所述样品的侧方的所述楔形条的具有倾斜面的凹槽；/n所述楔形条具有与所述倾斜面的倾斜角度相同的楔形面和用于与所述样品的表面贴合的侧面；/n所述压条放置于所述样品的上表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装，其特征在于，
包括：
底座、楔形条和压条；
所述底座上开设有用于容纳样品及放置于所述样品的侧方的所述楔形条的具有倾斜面的凹槽；
所述楔形条具有与所述倾斜面的倾斜角度相同的楔形面和用于与所述样品的表面贴合的侧面；
所述压条放置于所述样品的上表面。


2.根据权利要求1所述的长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装，其特征在于，
所述楔形条为棱柱状，且横截面形状为三角形或直角梯形。


3.根据权利要求1所述的长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装，其特征在于，
所述凹槽的横截面形状为等腰梯形...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘雷敏，陈忠明，刘学建，黄政仁，杨金晶，孙安乐，姚秀敏，蒋金弟，许成明，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31