【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种分束器设备，其包括至少一个适用于将光束分成多个子光束的分束装置。由现有技术中已知了不同实现方式的前述类型的分束器设备。例如可借助于能够用作分束装置的部分透光镜面将光束分成两个子光束。为了能够生成大量的子光束，相应地需要多个作为分束装置的部分透光镜面。为了能够将辐射功率尽可能精确地划分到单个的子光束上，需要非常昂贵和精密的镜面涂层。同样，由现有技术还已知了这样的分束器设备，其借助偏振光学元件或者借助部分设置在光路中的镜面来工作。这种分束器设备同样也需要非常多的单个元件，用于产生大量的子光束。重要的技术应用，例如对工件的同时进行的激光钻孔或者借助激光射线的传感探头阵列测量，需要将最初的激光射线分成大量的子光束。这通过上面描述的分束装置只能以非常高昂的代价来实现。为了能用相对较少的单个光学元件产生非常多的子光束，开发出了所谓的衍射分束装置。这种衍射分束装置的一个例子在期刊“LaserFocus World”(2003年12月，第73至75页)中给出。这些在其设计和制造方面开销很大的构件能够非常均匀和精确地将一个光束分成多个子光束。现有技术中已知的...
【技术保护点】
一种分束器设备，其包括至少一个分束装置，所述分束装置适用于将光束分成多个子光束，其特征在于，所述分束装置包括至少一个第一光学阵列和至少一个第二光学阵列（１，２），它们彼此间隔一段距离并具有多个光功能元件，其中第一光学阵列（１）中的整数倍的光功能元件与第二光学阵列中的一个光功能元件分别对应。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：威兰德希尔，
申请(专利权)人：LIMO专利管理有限及两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。