带有挠曲轴的显微镜载物台制造技术

一种带有挠曲轴的显微镜载物台，可展示出可预测的挠曲特性和有限交叉耦合平移。接近于Ｚ执行器的Ｚ平台的Ｚ运动可基本上为线性，同时该Ｚ平台的远侧可被允许绕连接有挠曲部件的铰链轴旋转。该显微镜载物台包括设置为基本上与光轴垂直的平台（１２０）；可操作地与所述平台的近侧相连接的执行器（１３０），并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧；以及可操作地与所述平台的远侧相连接的挠曲部件（１６０），并且操作为允许所述平台绕铰链轴（１７０）旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种载物台，包括：平台，设置为基本上与光轴垂直；执行器，可操作地与所述平台的近侧相连接，并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧；以及挠曲部件，可操作地与所述平台的远侧相连接，并且操作为允许所述平台绕铰链轴旋转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂文C卡雷，约翰马尔科姆，
申请(专利权)人：应用精密公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]